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高分辨率應(yīng)用探針的規(guī)范安裝步驟分享

來(lái)源:探真納米科技(衢州)有限公司   2025年08月20日 15:56  
   高分辨率應(yīng)用探針是實(shí)現(xiàn)原子級(jí)成像、表面形貌精確測(cè)繪、力學(xué)與電學(xué)性能分析的核心傳感器。探針的性能直接決定圖像分辨率與數(shù)據(jù)可靠性。然而,高分辨率應(yīng)用探針很脆弱,安裝過(guò)程中的微小失誤(如碰撞、污染、靜電損傷)即可導(dǎo)致針尖損壞或性能下降。掌握科學(xué)、規(guī)范的安裝步驟,是釋放其“針”鋒實(shí)力的關(guān)鍵。

 


  第一步:環(huán)境準(zhǔn)備與工具檢查
  在潔凈、無(wú)塵、低濕度的環(huán)境中操作(推薦在超凈臺(tái)內(nèi)進(jìn)行)。關(guān)閉空調(diào)與風(fēng)扇,避免氣流擾動(dòng)。準(zhǔn)備好專(zhuān)用鑷子(碳纖維或塑料防靜電鑷)、探針夾持器、顯微鏡(體視鏡或顯微放大鏡)及清潔的棉簽。確保所有工具無(wú)油污、無(wú)顆粒殘留。
  第二步:取出探針,避免觸碰針尖
  從原廠包裝中取出探針芯片,嚴(yán)禁用手直接接觸。使用防靜電鑷子夾持探針基底邊緣(非懸臂或針尖區(qū)域),輕拿輕放。高分辨率探針多為微加工硅或氮化硅結(jié)構(gòu),針尖極其纖細(xì),輕微觸碰即可能折斷或鈍化。
  第三步:顯微鏡下檢查針尖狀態(tài)
  將探針置于顯微鏡下(建議50–200倍放大),仔細(xì)檢查針尖是否完整、有無(wú)斷裂、污染或積碳。確認(rèn)懸臂無(wú)彎曲或裂紋。若發(fā)現(xiàn)缺陷,應(yīng)立即更換,切勿使用損壞探針,以免劃傷樣品或損壞設(shè)備。
  第四步:正確裝入探針夾持器
  根據(jù)設(shè)備型號(hào)選擇匹配的夾持器。用鑷子將探針芯片平穩(wěn)放入夾持槽,確保定位銷(xiāo)對(duì)準(zhǔn),探針?lè)较颍す夥瓷涿娉驒z測(cè)器)正確。輕輕推入并鎖緊固定螺絲或卡扣,力度適中,避免過(guò)緊導(dǎo)致芯片碎裂。
  第五步:安裝至顯微鏡頭,粗調(diào)位置
  將裝好探針的夾持器小心安裝到SPM/AFM的掃描頭上。使用顯微鏡粗略調(diào)整探針位置,使其懸臂大致位于樣品正上方,且與樣品表面平行。保持安全距離,防止碰撞。
  第六步:?jiǎn)?dòng)系統(tǒng),執(zhí)行自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)
  關(guān)閉防震臺(tái),啟動(dòng)儀器控制軟件。運(yùn)行自動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)程序(調(diào)整激光束精確照射到懸臂末端)與光電探測(cè)器校準(zhǔn)。隨后進(jìn)行Z軸逼近,采用自動(dòng)尋峰或壓電陶瓷微步進(jìn)方式,使針尖安全、精準(zhǔn)地接近樣品表面,進(jìn)入工作距離。

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