一、核心產品系列

1. ?油旋片真空泵?

• 型號：VDN、PVD、VSN系列，GLD系列（高性能、低震動、低噪音）

• 特點：優(yōu)化散熱設計，油位觀察窗便于監(jiān)測油污染狀況

• 應用：真空鍍膜、分析儀器、半導體制造設備等35

2. ?干式真空泵?

• 防腐涂層處理轉子軸與氣缸，增強耐腐蝕性

• 特殊轉子設計提升粉末排出性能

• 用途：半導體刻蝕/去膠設備、鋰電池電極干燥、醫(yī)療冷凍干燥等4

• ?MS系列螺桿泵?（如MS600A）：

二、創(chuàng)新 技術

1. ?多重密封結構?

• 通過導氣槽設計引導氣流，防止真空腔內雜質磨損轉軸及齒輪，提升密封性1。

2. ?真空檢漏裝置?

• 結合氮氣源與真空計檢測壓力回升值，通過算法精準判斷工件泄漏，提高檢測效率2。

三、應用領域

• ?半導體制造?：刻蝕設備、等離子清洗設備真空排氣4

• ?新能源?：鋰電池注液、電極干燥工藝4

• ?工業(yè)設備?：真空熱處理爐、真空干燥系統(tǒng)