日本Tekhne露點(diǎn)儀:半導(dǎo)體超純氣體濕度監(jiān)測(cè)專家
日本Tekhne公司生產(chǎn)的露點(diǎn)儀是專門用于半導(dǎo)體超純氣體濕度監(jiān)測(cè)的高精度儀器。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,氣體的純度和濕度控制至關(guān)重要,因?yàn)槲⑿〉臐穸茸兓赡軙?huì)對(duì)半導(dǎo)體器件的性能和質(zhì)量產(chǎn)生嚴(yán)重影響。以下是關(guān)于日本Tekhne露點(diǎn)儀的詳細(xì)介紹:
一、產(chǎn)品概述
- 品牌:日本Tekhne
- 用途:用于監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體制造過(guò)程中超純氣體的濕度,確保氣體的純度和干燥度。
- 目標(biāo)客戶:半導(dǎo)體制造企業(yè)、電子材料供應(yīng)商、科研機(jī)構(gòu)等。
二、主要特點(diǎn)
- 高精度測(cè)量
- 測(cè)量范圍:能夠測(cè)量極低的露點(diǎn)溫度,通常在-100°C至0°C之間,適用于超純氣體的濕度監(jiān)測(cè)。
- 測(cè)量精度:露點(diǎn)溫度測(cè)量精度可達(dá)±0.1°C,確保測(cè)量結(jié)果的高可靠性。
- 重復(fù)性:測(cè)量結(jié)果具有高重復(fù)性,確保長(zhǎng)期穩(wěn)定的監(jiān)測(cè)效果。
- 快速響應(yīng)
- 快速測(cè)量:能夠在短時(shí)間內(nèi)完成露點(diǎn)溫度的測(cè)量,快速響應(yīng)濕度變化。
- 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè):支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)輸出,便于用戶及時(shí)調(diào)整氣體干燥系統(tǒng)。
- 高穩(wěn)定性
- 傳感器技術(shù):采用先進(jìn)的傳感器技術(shù),確保在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
- 溫度補(bǔ)償:內(nèi)置溫度補(bǔ)償功能,確保在不同環(huán)境溫度下的測(cè)量精度。
- 數(shù)據(jù)管理
- 數(shù)據(jù)記錄:設(shè)備內(nèi)置數(shù)據(jù)記錄功能,可存儲(chǔ)大量的測(cè)量數(shù)據(jù)。
- 數(shù)據(jù)輸出:支持USB、LAN等多種數(shù)據(jù)輸出方式,方便用戶將數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行分析。
- 數(shù)據(jù)分析:配備專業(yè)的數(shù)據(jù)分析軟件,可對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,生成報(bào)表。
- 用戶友好
- 操作簡(jiǎn)便:配備直觀的用戶界面,操作簡(jiǎn)便,無(wú)需復(fù)雜培訓(xùn)。
- 校準(zhǔn)功能:設(shè)備內(nèi)置校準(zhǔn)功能,用戶可以定期進(jìn)行校準(zhǔn),確保測(cè)量精度。
三、技術(shù)參數(shù)
- 測(cè)量范圍:
- 露點(diǎn)溫度:-100°C至0°C
- 濕度范圍:1 ppmv(百萬(wàn)分之一體積比)至100% RH(相對(duì)濕度)
- 測(cè)量精度:
- 露點(diǎn)溫度精度:±0.1°C
- 濕度精度:±1% RH
- 響應(yīng)時(shí)間:小于1分鐘
- 傳感器類型:高精度露點(diǎn)傳感器
- 數(shù)據(jù)存儲(chǔ):內(nèi)置大容量存儲(chǔ)器,可存儲(chǔ)數(shù)月的數(shù)據(jù)
- 數(shù)據(jù)輸出:USB、LAN、RS-232C等多種接口
- 環(huán)境要求:
- 溫度:-10°C至50°C
- 濕度:0%至95% RH(無(wú)凝結(jié))
- 電源要求:AC 100V-240V,50/60Hz,功率約100W
- 尺寸與重量:
- 尺寸:約400mm(寬)×300mm(深)×200mm(高)
- 重量:約10公斤
四、應(yīng)用領(lǐng)域
- 半導(dǎo)體制造
- 晶圓制造:在晶圓制造過(guò)程中,監(jiān)測(cè)超純氣體(如氮?dú)?、氬氣、氦氣等)的濕度,確保氣體的純度和干燥度。
- 光刻工藝:在光刻過(guò)程中,監(jiān)測(cè)光刻氣體的濕度,確保光刻工藝的精度。
- 電子制造
- 電子元件制造:監(jiān)測(cè)電子元件制造過(guò)程中使用的超純氣體的濕度,確保元件的性能和可靠性。
- PCB制造:監(jiān)測(cè)PCB制造過(guò)程中使用的氣體的濕度,確保焊接質(zhì)量和可靠性。
- 科研機(jī)構(gòu)
- 材料研究:在材料研究中,監(jiān)測(cè)實(shí)驗(yàn)氣體的濕度,確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
- 工藝開(kāi)發(fā):在新工藝開(kāi)發(fā)過(guò)程中,監(jiān)測(cè)氣體的濕度,優(yōu)化工藝參數(shù)。
五、操作流程
- 開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備
- 打開(kāi)設(shè)備電源,進(jìn)行開(kāi)機(jī)自檢。
- 確保設(shè)備處于清潔狀態(tài),檢查傳感器和測(cè)量裝置是否正常。
- 氣體連接
- 將待監(jiān)測(cè)的超純氣體管道連接到露點(diǎn)儀的進(jìn)氣口。
- 確保氣體流量穩(wěn)定,符合設(shè)備要求。
- 自動(dòng)測(cè)量
- 設(shè)備自動(dòng)開(kāi)始測(cè)量氣體的露點(diǎn)溫度和濕度,測(cè)量結(jié)果實(shí)時(shí)顯示在屏幕上。
- 測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄并存儲(chǔ)。
- 數(shù)據(jù)輸出
- 檢測(cè)完成后,用戶可以通過(guò)USB接口或網(wǎng)絡(luò)接口將數(shù)據(jù)導(dǎo)出到計(jì)算機(jī)。
- 使用數(shù)據(jù)分析軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,生成檢測(cè)報(bào)告。
- 設(shè)備維護(hù)
- 定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行清潔和校準(zhǔn),確保設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
六、優(yōu)勢(shì)與價(jià)值
- 高精度:能夠測(cè)量極低的露點(diǎn)溫度,確保超純氣體的濕度控制。
- 快速響應(yīng):快速測(cè)量和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),便于及時(shí)調(diào)整氣體干燥系統(tǒng)。
- 高穩(wěn)定性:先進(jìn)的傳感器技術(shù)和溫度補(bǔ)償功能,確保設(shè)備在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
- 數(shù)據(jù)管理:支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄、存儲(chǔ)和輸出,方便用戶進(jìn)行數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。
- 用戶友好:操作簡(jiǎn)便,內(nèi)置校準(zhǔn)功能,確保測(cè)量精度。
七、售后服務(wù)
- 技術(shù)支持:提供專業(yè)的技術(shù)支持,包括設(shè)備安裝、調(diào)試、培訓(xùn)和維護(hù)。
- 保修服務(wù):設(shè)備提供一年有限保修服務(wù),保修期內(nèi)免費(fèi)維修和更換零部件。
- 備件供應(yīng):提供充足的備件供應(yīng),確保設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
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