半導(dǎo)體襯底,掩模板,外延片瑕疵測(cè)試那個(gè)難度???
半導(dǎo)體襯底,掩模板,外延片瑕疵測(cè)試中外延片的瑕疵檢測(cè)難度最小,因?yàn)榘雽?dǎo)體外延片表面為黑色,而襯底和掩模板一般為半透明,透明材質(zhì)的檢測(cè)難度大于有色材質(zhì)的難度。深圳熒鴻表面瑕疵檢測(cè)燈SL8500可檢測(cè)襯底,掩模板,外延片瑕疵,不過(guò)檢測(cè)的方法略有不同。
瑕疵檢測(cè)燈SL8500采用一顆20W進(jìn)口LED并配上深圳熒鴻研發(fā)的光學(xué)鏡片,使其照度比一般的都高,可檢測(cè)大多數(shù)的微小瑕疵(1um)。SL8500有白光和黃綠光兩種光源,樣式為桌面式。SL8500采用1顆20W 高亮度進(jìn)口LED加定制的光學(xué)鏡片; LED平均壽命是30000小時(shí),可添加不同濾光片得到不同波長(zhǎng)的光源。SL8500在30cm距離處,光照度為15萬(wàn)LX,可檢測(cè)大部分瑕疵。有更高要求瑕疵檢測(cè),可采用SL8600或SL8900。
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