ULVAC 愛(ài)發(fā)科現(xiàn)貨皮拉尼真空計(jì)的工作原理和產(chǎn)品特性

來(lái)源：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 2025年07月26日 16:12

ULVAC 愛(ài)發(fā)科現(xiàn)貨皮拉尼真空計(jì)（代表機(jī)型 GP-1G/2G、GP-G 系列、GC10 系列）是低-中真空（103~5×10?2 Pa）領(lǐng)域的主流傳感器。它把“氣體分子帶走的熱量”轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，再經(jīng)恒溫橋式電路、線性化算法、溫度補(bǔ)償、數(shù)字濾波等多級(jí)處理，最終輸出與壓力呈線性關(guān)系的 DC 0-10 V、RS-232/485、BCD 或 Profibus 信號(hào)。以下從工作原理、結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)、關(guān)鍵特性、典型選型、安裝維護(hù)、故障診斷、應(yīng)用案例七個(gè)維度展開(kāi) 1500 字以上的深度解析，供設(shè)計(jì)、工藝、維護(hù)人員參考。

────────────────一、工作原理：從宏觀熱傳導(dǎo)到微觀分子碰撞

熱傳導(dǎo)真空規(guī)的宏觀定義
在克努森數(shù) Kn<0.01 的粘滯流區(qū)域，氣體熱傳導(dǎo)系數(shù) k 與壓力 p 成正比；在 Kn>1 的分子流區(qū)域，k 與 p 成線性關(guān)系。皮拉尼真空計(jì)正是利用 0.5~100 Pa 之間 k∝p 的過(guò)渡區(qū)，通過(guò)測(cè)量熱絲（Sensor Wire）因分子碰撞損失的熱量，來(lái)反推壓力。
恒溫橋式電路（Constant-Temperature Pirani）
ULVAC 采用兩級(jí)惠斯通電橋：

第一級(jí)：Pt 細(xì)絲與參考電阻 Rref 組成主橋臂；
第二級(jí)：運(yùn)算放大器+功率晶體管形成閉環(huán)，使燈絲溫度恒定在 110 ℃（典型值）。
當(dāng)壓力升高 → 熱損失加大 → 閉環(huán)立即提高加熱電流 IH 以維持溫度；IH 與 p 的關(guān)系由實(shí)驗(yàn)標(biāo)定為
IH = I0 + k·p /(1+α·p)
其中 I0 為零壓殘余電流，k、α 為燈絲常數(shù)。數(shù)字 MCU 將 IH 經(jīng) 12-bit ADC 采樣后，查表線性化，輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。

溫度補(bǔ)償與環(huán)境修正
ULVAC 在傳感器頭部?jī)?nèi)置 10 kΩ NTC 熱敏電阻，實(shí)時(shí)檢測(cè)環(huán)境溫度 0-50 ℃，MCU 以 1 Hz 頻率對(duì) k 值進(jìn)行二階補(bǔ)償，保證全溫區(qū)精度 <±3 %。
對(duì)于含氫、氦等高熱導(dǎo)率氣體的工藝，用戶可通過(guò)面板或串口輸入氣體系數(shù)（N?=1.00，H?=2.40，He=1.85），MCU 自動(dòng)修正讀數(shù)，避免 50 % 以上誤差。

────────────────二、結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)：從燈絲到表頭

測(cè)定子（Sensor Gauge Head）

燈絲：φ15 µm 純鉑，表面濺射 0.2 µm 氧化鋁絕緣層，防止碳?xì)渚酆希?/div>
支架：雙云母片+不銹鋼 304L 彈簧，抗 200 ℃ 烘烤；
外殼：KF16/25/40、CF16/35、NPT1/8 可選，內(nèi)部拋光 Ra 0.2 µm，減少放氣；
防護(hù)：燈絲上方 100 µm 金屬網(wǎng)，防止機(jī)械沖擊；
互換性：同一表頭±10 % 互換誤差，無(wú)需重新校準(zhǔn)。

控制單元（Controller）

電源：DC 24 V±10 %，功耗 5 W；
顯示：4? 位 OLED，亮度 7 級(jí)可調(diào)，真空單位 Pa/mbar/Torr 一鍵切換；
設(shè)定點(diǎn)：2-3 組 SPST 繼電器，觸點(diǎn) 250 VAC 2 A，帶 LED 狀態(tài)指示；
通訊：標(biāo)準(zhǔn) RS-232C（115200 bps），可選 RS-485/Profibus DP；
面板：DIN 96×48 mm，IP40 前面板，插入深度 110 mm，可 90° 旋轉(zhuǎn)安裝。

────────────────三、關(guān)鍵性能指標(biāo)（以 GP-1G 為例）

測(cè)量范圍：1×10? Pa（大氣）~5×10?2 Pa
再現(xiàn)性：±2 %/year（燈絲老化補(bǔ)償后）
響應(yīng)時(shí)間：T90<30 ms（粘滯流區(qū)），T90<500 ms（10?1 Pa）
溫度系數(shù)：<0.05 %/°C
抗污染：燈絲可在 1000 ppm C?H? 下長(zhǎng)期工作 3000 h
電磁兼容：EN 61326-1 Class A，CE 認(rèn)證
防護(hù)等級(jí)：表頭 IP40，遠(yuǎn)程傳感器 IP54（加波紋管）

────────────────四、選型與訂貨號(hào)

標(biāo)準(zhǔn)型
GP-1G-S（KF16 表頭）+ GC10-RS（控制單元）
防腐型
GP-1G-HC（燈絲鍍金 0.5 µm，耐氟化工藝）
高溫烘烤型
GP-1G-BK（可 200 ℃ 烘烤 24 h，CF35 法蘭）
多通道型
GC10-4CH（一臺(tái)控制器帶 4 路表頭，節(jié)省機(jī)柜空間）

────────────────五、安裝與配管

位置選擇

遠(yuǎn)離泵口 5D（D 為管徑）以上，防止油蒸汽回流；
垂直或水平安裝均可，但需保證燈絲處于氣流中心；
避免 0-50 ℃ 以外的環(huán)境溫度，否則需加冷卻板。

電氣連接

傳感器電纜：ULVAC 原裝 3 m 屏蔽線，延長(zhǎng)不得超過(guò) 100 m（>50 m 需加中繼器）；
繼電器輸出：建議加 RC 吸收回路（47 Ω+0.1 µF）抑制電?。?/div>
通訊：RS-485 總線最多 32 節(jié)點(diǎn)，末端 120 Ω 終端電阻。

零點(diǎn)校準(zhǔn)
安裝或更換燈絲后，在 <1×10?3 Pa 的極限真空下長(zhǎng)按“ZERO”3 s，MCU 自動(dòng)寫(xiě)入 EEPROM，完成后指示燈閃爍 5 次。

────────────────六、維護(hù)與故障診斷

日常檢查

每 3 個(gè)月檢查燈絲是否發(fā)黑、斷線；
每 6 個(gè)月測(cè)量繼電器觸點(diǎn)電阻 <100 mΩ；
每年用標(biāo)準(zhǔn)漏孔（1×10?? Pa·m3/s）比對(duì)，偏差>±5 % 時(shí)返廠校準(zhǔn)。

常見(jiàn)問(wèn)題

讀數(shù)偏高：燈絲污染 → 用 IPA 超聲清洗 5 min；
讀數(shù)無(wú)變化：電纜斷線 → 測(cè)量線間電阻 10-14 Ω；
繼電器不動(dòng)作：檢查設(shè)定點(diǎn)是否被誤設(shè)為“手動(dòng)關(guān)閉”；
通訊中斷：RS-232 交叉線 TX/RX 接反。

────────────────七、典型案例

半導(dǎo)體 LPCVD 多晶硅爐
需求：監(jiān)控 10 Pa 工藝壓力，互鎖泵組。
方案：GP-1G-S（KF25）+ GC10，設(shè)定點(diǎn)1=15 Pa（報(bào)警），設(shè)定點(diǎn)2=5 Pa（停泵）；通訊 RS-232 接入 PLC，實(shí)現(xiàn)配方自動(dòng)切換。
液晶面板 OLED 蒸鍍線
需求：粗抽 100 Pa→20 Pa→2 Pa 三階段，需 3 組設(shè)定點(diǎn)。
方案：GP-2G（雙燈絲冗余）+ GC10-3SP，燈絲壽命預(yù)測(cè)算法 100 h 提示更換，避免停機(jī)。
制藥冷凍干燥機(jī)
需求：0.5 Pa 終點(diǎn)判斷，滿足 GMP 數(shù)據(jù)追溯。
方案：GP-1G-HC（316L 表頭）+ Profibus 網(wǎng)關(guān)，數(shù)據(jù)上傳 MES；在 CIP/SIP 135 ℃ 蒸汽滅菌后，一鍵重新零點(diǎn)，無(wú)需拆表。

────────────────八、壽命與經(jīng)濟(jì)性

燈絲 MTBF：>5000 h（N? 環(huán)境，平均 10 Pa）；
整機(jī)質(zhì)保：3 年或 25 000 h，先到為準(zhǔn)；
備件成本：燈絲組件 300-400 元/套，控制單元 2000-3000 元，更換時(shí)間 <5 min；
與熱偶規(guī)相比，皮拉尼無(wú)需易碎的熱電偶結(jié)點(diǎn)，綜合擁有成本低 30 %。

────────────────九、未來(lái)演進(jìn)ULVAC 正在開(kāi)發(fā) MEMS 皮拉尼芯片，尺寸 3×3 mm，功耗 <50 mW，預(yù)計(jì) 2026 年推出。該芯片將燈絲、測(cè)溫電阻、參考腔集成在硅基上，通過(guò)晶圓級(jí)真空封裝，可批量生產(chǎn)，成本降至現(xiàn)有 1/5，適合 IoT 真空監(jiān)測(cè)節(jié)點(diǎn)。

────────────────結(jié)語(yǔ)
ULVAC 現(xiàn)貨皮拉尼真空計(jì)憑借寬量程、高可靠、可互換、易維護(hù)的優(yōu)勢(shì)，已成為真空粗抽/中抽系統(tǒng)的“標(biāo)配”。正確理解其熱傳導(dǎo)原理、合理選型、規(guī)范安裝與定期校準(zhǔn)，可確保 5-10 年的穩(wěn)定運(yùn)行，為半導(dǎo)體、光伏、制藥、科研等行業(yè)提供值得信賴(lài)的低-中真空測(cè)量基準(zhǔn)。

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