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半導體設備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場的“破壁者”

來源:信德邁科技(北京)有限公司   2025年07月22日 08:45  

半導體設備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場的“破壁者”

——從零部件到整機,國產(chǎn)半導體設備的崛起之路

一、半導體設備:芯片制造的基石,國產(chǎn)化率不足20%

半導體設備是芯片制造的“母機”,直接決定芯片性能與產(chǎn)能。2022年全球半導體設備市場規(guī)模達1076億美元,中國大陸以283億美元成為頭部市場,但國產(chǎn)化率僅約15%-20%。

核心設備國產(chǎn)化率分布

光刻機:<1%

量測設備:<5%

離子注入設備:<10%

薄膜沉積設備:<20%

刻蝕設備:>30%

清洗設備:>30%

半導體設備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場的“破壁者”

二、零部件:半導體設備的卡脖子環(huán)節(jié)

半導體設備中90%成本來自零部件,但頭部零部件國產(chǎn)化率普遍低于10%

真空閥門

日本SMC、瑞士VAT壟斷,國產(chǎn)化率<1%

射頻電源

美國MKS、AE壟斷全球87%份額

靜電吸盤

日本京瓷、美國AMAT壟斷,國產(chǎn)化率<1%

國產(chǎn)突破:

江豐電子

靶材國產(chǎn)化率超50%,打入臺積電5nm供應鏈

英杰電氣

射頻電源獲中微公司認證,2023年訂單超9000萬元

新萊應材

高純氣體管路系統(tǒng)進入長江存儲供應鏈

半導體設備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場的“破壁者”

三、薄膜沉積設備:CVD/PVD國產(chǎn)化加速

薄膜沉積設備占晶圓廠設備投資的25%,2022年全球市場規(guī)模172億美元:

技術路線

PECVD(等離子體增強):占比34%

ALD(原子層沉積):先進制程核心

國產(chǎn)進展拓荊科技

PECVD設備打入中芯國際14nm產(chǎn)線,2022年營收17億元

北方華創(chuàng)

PVD設備在長江存儲份額超20%

中微公司

MOCVD設備全球市占率超60%

半導體設備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場的“破壁者”

四、量檢測設備:芯片良率的守護者

量檢測設備占設備投資的11%2022年全球市場規(guī)模104億美元:

/暗場檢測

明場檢測:用于圖形晶圓,精度要求高

暗場檢測:用于無圖形晶圓,速度快

國產(chǎn)突破中科飛測

無圖形檢測設備國內(nèi)市占率超70%

上海精測

明場檢測設備獲長江存儲訂單

睿勵儀器

膜厚量測設備進入中芯國際產(chǎn)線

半導體設備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場的“破壁者”

五、CMP設備:晶圓平坦化的精密磨床

CMP設備占設備投資的4%,2022年全球市場規(guī)模18億美元:

技術壁壘

納米級平整度控制(相當于天安門廣場起伏<0.03mm

國產(chǎn)突破華海清科

12英寸CMP設備市占率25%,2022年營收16億元

爍科中科信

8英寸CMP設備進入華虹供應鏈

半導體設備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場的“破壁者”

六、離子注入機:芯片摻雜的精準注射器

離子注入機占設備投資的3%,2022年全球市場規(guī)模18億美元:

技術分類

中低束流:占比60%

高能離子:占比18%

國產(chǎn)突破萬業(yè)企業(yè)(凱世通)

低能大束流設備獲長鑫存儲訂單

中科信

中束流設備進入中芯國際產(chǎn)線

半導體設備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場的“破壁者”

七、國產(chǎn)設備廠商:從“01”的突圍者

1. 平臺型龍頭

北方華創(chuàng)

覆蓋刻蝕、PVD、CVD7大類設備,2022年半導體設備收入130億元

中微公司

CCP刻蝕設備打入臺積電5nm產(chǎn)線

2. 細分賽道

拓荊科技

PECVD設備國內(nèi)市占率32%

華海清科

CMP設備國內(nèi)市占率25%

盛美上海

清洗設備國內(nèi)市占率23%

半導體設備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場的“破壁者”

八、未來展望:國產(chǎn)化的三大突破口

成熟制程

55-28nm產(chǎn)線國產(chǎn)設備覆蓋率已達50%

先進封裝

華為芯片堆疊推動封裝設備需求

零部件配套

射頻電源、真空閥門等加速替代

半導體設備的國產(chǎn)化不是選擇題,而是生存題。

——中微公司董事長尹志堯


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