手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
三氟化氮監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)的安裝要求與維護(hù)校準(zhǔn)
NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對(duì)硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對(duì)表面無(wú)污染。氫與NF3反應(yīng)，在瞬間伴隨放出大量的熱，這就是NF3在高能化學(xué)激光器方面大量應(yīng)用的原理。在高溫下，NF3與有機(jī)化合物反應(yīng)常伴有爆炸性，操作時(shí)應(yīng)十分謹(jǐn)慎。
三氟化氮（NF?）監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)是專用于檢測(cè)NF?氣體濃度并實(shí)現(xiàn)安全聯(lián)鎖控制的工業(yè)安全設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體刻蝕工藝、光伏制造等場(chǎng)景。其核心由探測(cè)器、控制器及聯(lián)動(dòng)模塊構(gòu)成。
工作環(huán)境：
溫度：
催化燃燒：-40~+70℃；
電化學(xué)：-20~+50℃；PID：-20~+50℃；
紅外：-20~+50℃；
熒光法：-20~+50℃；
氧化鋯:-40℃~+700℃
壓力：86-110Kpa；（氧化鋯：≤0.6Mpa)
濕度：15%RH~95%RH（無(wú)凝露）
安裝要求：
探測(cè)高度：距地面0.3-1.5米（因NF?密度大于空氣）。
氣路連接：泵吸式采樣時(shí)，流量需穩(wěn)定在0.4-0.6L/min。
維護(hù)校準(zhǔn)：
每季度用標(biāo)準(zhǔn)氣體校準(zhǔn)，偏差＞±5%需調(diào)整。
電化學(xué)傳感器壽命約2年，NDIR傳感器壽命＞5年。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購(gòu)中心