荷蘭TE 半導(dǎo)體應(yīng)用實(shí)例 | 電鍍液中總有機(jī)碳TOC含量的測定
電鍍液中測試總有機(jī)碳TOC含量主要為了監(jiān)控有機(jī)污染物殘留,確保工藝質(zhì)量和產(chǎn)品性能。因?yàn)殡婂円褐械挠袡C(jī)污染物(如添加劑分解產(chǎn)物、金屬離子等)會(huì)導(dǎo)致鍍層質(zhì)量下降,出現(xiàn)夾雜、偏脆等問題,直接影響金剛線切割效率和硅片質(zhì)量。通過檢測TOC含量,可快速判斷有機(jī)物殘留是否超標(biāo),及時(shí)調(diào)整處理工藝。
電鍍液通常含有較高濃度的鹽類(如氯離子),這些成分在高溫氧化過程中可能腐蝕儀器部件(如燃燒管內(nèi)壁附著鹽分),另外氯離子(Cl?)對氧化反應(yīng)有抑制作用,會(huì)影響有機(jī)碳向二氧化碳的轉(zhuǎn)化效率,進(jìn)而影響TOC檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。 ?
荷蘭TE公司——Xpert TOC總有機(jī)碳分析儀的專利耐高鹽設(shè)計(jì),可以在得到準(zhǔn)備的測試結(jié)果的同時(shí)避免高鹽對系統(tǒng)的損害。
檢測要求
電鍍液中的TOC含量
樣品類型
電鍍液-來自于某客戶實(shí)際樣品,樣品中含有硫酸銅,鹽酸,硫酸等酸類。
檢測條件
儀器型號:荷蘭TE XPERT-TOC總有機(jī)碳分析儀
爐溫:720℃
測試模式:TOC=TC-IC
進(jìn)樣體積:100μL(TC) 500μL(IC)
氧氣流速:200mL/min
標(biāo)準(zhǔn)曲線:R2>0.999
檢測結(jié)果
結(jié)論:
每個(gè)樣品測試3次重復(fù),結(jié)果重現(xiàn)性良好,在高本底鹽度和酸度的電鍍液樣品即使?jié)舛瘸^1000ppm的樣品也無需稀釋直接進(jìn)樣,充分證實(shí)了荷蘭TE這款XPERT-TOC總有機(jī)碳分析儀的性能和可靠的質(zhì)量。
?? XPERT-TOC/TNb ——集成了儀器堅(jiān)固耐用性,分析準(zhǔn)確性和操作便捷性于一體的最新一代總有機(jī)碳分析儀。
實(shí)驗(yàn)室選擇 XPERT-TOC/TNb的原因:
?? 高溫催化燃燒法的原理設(shè)計(jì),一次進(jìn)樣幾分鐘內(nèi)既可得到總有機(jī)碳TOC及總化合氮TNb。
?? 采用TEIS分析控制軟件實(shí)現(xiàn)儀器的全自動(dòng)化操作,符合所有目前現(xiàn)行的高溫燃燒法的所有官方標(biāo)準(zhǔn)和方法。
?? XPERT可以一次進(jìn)樣得到TOC/TNb總有機(jī)碳及總化合氮結(jié)果,也可以分別得到單個(gè)的TOC總有機(jī)碳及TNb總化合氮結(jié)果。
?? 符合各種國際及國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn),符合各種高溫催化燃燒測試標(biāo)準(zhǔn),例如:
·HJ 501-2009,HJ 695-2014;
·ASTM D7573,ASTM D8083;
·EN-1484;
·EPA 415.1,EPA 9060;
·ISO 8245,ISO 11905-2;
·USP<643>
等各種國內(nèi)國際標(biāo)準(zhǔn)。
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