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鐵電分析儀如何針對(duì)不同材料應(yīng)變測(cè)量?

來(lái)源:北京華測(cè)試驗(yàn)儀器有限公司   2025年07月16日 11:02  


鐵電分析儀如何針對(duì)不同材料應(yīng)變測(cè)量?


Huace FE-3000針對(duì)不同材料應(yīng)變測(cè)量設(shè)計(jì)了塊體與薄膜應(yīng)變測(cè)試兩種測(cè)量夾具,以下是兩款?yuàn)A具的介紹:

1. 高分辨率pm級(jí)測(cè)量平臺(tái)-振動(dòng)激光干涉測(cè)量D33;

2. 可評(píng)估piezoMEMS,也可方便實(shí)現(xiàn)塊體與薄膜的夾持;

3. 0.01nm分辨率,2MHz帶寬;

4. 可實(shí)現(xiàn)在RT~250℃的溫度下進(jìn)行測(cè)量。

 

激光測(cè)振儀+變溫塊體測(cè)試盒

1. 電極大可調(diào)行程不小于3mm,分辨率0.01mm

2. 大樣品尺寸小于30mm;

3. 樣品盒大試驗(yàn)電壓不低于10kV;

4. 大加熱溫度:RT~250℃;

5. 采用進(jìn)口品牌溫度控制器;

6. 具有過(guò)溫與過(guò)流保護(hù)功能。


圖片1.png

 

激光測(cè)振儀+變溫塊體測(cè)試盒

激光測(cè)振儀+高溫塊體測(cè)試盒

1. 電極大可調(diào)行程不小于3mm,分辨率0.01mm;

2. 大樣品尺寸小于30mm

3. 樣品盒大試驗(yàn)電壓不低于10kV;

4. 大加熱溫度:RT~800℃

5. 采用進(jìn)口品牌溫度控制器;

6. 具有過(guò)溫與過(guò)流保護(hù)功能。


圖片2.png

 

激光測(cè)振儀+高溫塊體測(cè)試盒

 

激光測(cè)振儀高低溫測(cè)試夾具

1. 適用于器件與塊體材料應(yīng)變測(cè)量;

2. 大樣品尺寸小于40mm;

3. 樣品盒大試驗(yàn)電壓不低于2kV;

4. 大加熱溫度:-196℃ - 250℃

5. 采用進(jìn)口品牌溫度控制器;

6. 具有過(guò)溫與過(guò)流保護(hù)功能。


圖片3.png

 

激光測(cè)振儀高低溫測(cè)試夾具

 

薄膜懸臂梁測(cè)試夾具

激光測(cè)振儀與薄膜壓電測(cè)試(E31)相結(jié)合,可測(cè)量沉積在懸臂上的壓電薄膜的壓電系數(shù)(E31、D31E33)。施加在壓電薄膜上的電壓使基板向各個(gè)方向彎曲。位移由激光測(cè)試振儀進(jìn)時(shí)高速測(cè)量。使用薄膜壓電測(cè)試套件進(jìn)行的測(cè)量包括(但不限):E31、D31、D33、E33與厚度位移與電壓的關(guān)系。


圖片4.png

 

薄膜懸臂梁測(cè)試夾具

 


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