• 行程：8.5mm。

• 最大可搬運(yùn)質(zhì)量（垂直）：0.2kg，最大可搬運(yùn)質(zhì)量范圍（垂直）為 0-2.0kg。

• 驅(qū)動(dòng)方式：線性馬達(dá)。

• 滑軌：無。

• 位置檢測：絕對式。

• 制動(dòng)器：無。

• 噪音過濾器：無。

• 反復(fù)定位精度：±10μm。

• 最高速度：66000mm/sec。

• 軸端規(guī)格：附氣孔。

• 動(dòng)作規(guī)格：前進(jìn)端位置調(diào)整。

• 最快周期時(shí)間：0.16sec。

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2025.7.11