LUPHOScan 850 HD 是泰勒霍普森推出的一款大型光學(xué)工件精密檢測(cè)儀，基于多波長(zhǎng)干涉技術(shù)（MWLI®），專為大型復(fù)雜光學(xué)應(yīng)用工件的精密檢測(cè)而設(shè)計(jì)。以下是其相關(guān)介紹：

測(cè)量原理：基于多波長(zhǎng)干涉技術(shù)（MWLI®），通過(guò)測(cè)量傳感器在被測(cè)工件表面按預(yù)設(shè)路徑掃描，同時(shí)工件自身旋轉(zhuǎn)，利用多波長(zhǎng)干涉?zhèn)鞲屑夹g(shù)測(cè)量絕對(duì)距離，實(shí)現(xiàn)對(duì)工件表面三維面形的測(cè)量。

測(cè)量范圍：測(cè)量口徑范圍可從 5mm 到 850mm，測(cè)量高度可達(dá) 210mm，大工件負(fù)載可達(dá) 350kg，可滿足多種尺寸大型光學(xué)工件的檢測(cè)需求。

測(cè)量精度：具有高精度和高重復(fù)性的面形誤差測(cè)量能力，精度可達(dá) <λ/20 (PV99i)，RMS 最小可達(dá) 5nm*，能為大型光學(xué)工件提供高精度的測(cè)量數(shù)據(jù)。

可測(cè)工件類型：主要用于對(duì)非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉(zhuǎn)對(duì)稱表面的超高精密非接觸式三維表面形狀測(cè)量。

可測(cè)材料：幾乎能測(cè)量所有的材料，包括透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面等，適用范圍廣泛。

功能特性：具備全新設(shè)計(jì)的 Flying spot 環(huán)紋抑制模式、基于相位的自動(dòng)對(duì)焦、像素穩(wěn)定光學(xué)縮放及全新的變倍模式等。其智能設(shè)置功能可根據(jù)安裝的不同附件自動(dòng)配置，還擁有 ZYGO 有氦氖穩(wěn)頻激光以及模塊化、密閉光學(xué)系統(tǒng)。

性能優(yōu)勢(shì)：測(cè)量速度快，對(duì)不常見的表面形狀，如平頂或有拐點(diǎn)的輪廓，具有高度靈活性，并且具有優(yōu)異的重復(fù)性。