晶圓烘箱的結(jié)構(gòu)組成與用途

來源：愛義信工業(yè)科技（上海）有限責(zé)任公司 2025年07月03日 09:35

晶圓烘箱是半導(dǎo)體制造中用于晶圓熱處理的關(guān)鍵設(shè)備，其核心功能是通過準(zhǔn)確控溫實(shí)現(xiàn)光刻膠固化、干燥及防氧化處理，直接影響半導(dǎo)體器件的良品率與性能。

　　結(jié)構(gòu)組成與功能模塊：

　　1、加熱系統(tǒng)：采用不銹鋼無塵加熱器，通過PID智能演算實(shí)現(xiàn)自動恒溫，溫度波動度控制在±0.5℃以內(nèi)。

　　2、氣體控制系統(tǒng)：支持氮?dú)鈿夥湛刂?，氧含量可低?lt;20ppm，適用于對氧化敏感的工藝步驟。采用密封內(nèi)循環(huán)風(fēng)路設(shè)計(jì)，減少氮?dú)庀?，風(fēng)道采用倒U型結(jié)構(gòu)，確保送風(fēng)均勻性。

　　3、傳輸與潔凈系統(tǒng)：工作室內(nèi)百級潔凈度，配備耐高溫高效過濾器，過濾率達(dá)0.3μm粒子99.995%以上。隔板高度可調(diào)，適應(yīng)不同尺寸晶圓的加工需求。

　　應(yīng)用場景：

　　1、光刻膠固化：在基片清洗后的前烘烤(Pre-baking)、涂膠后的軟烘焙(Soft-baking)及曝光顯影后的堅(jiān)膜硬烘(Hard-baking)中，通過精確控溫避免光刻膠層頂部“結(jié)殼”，確保溶劑均勻揮發(fā)。

　　2、防氧化處理：適用于硅片、砷化鎵、鈮酸鋰等材料的潔凈烘烤，通過惰性氣氛控制降低氧濃度，避免材料表面氧化。

　　3、精密元件干燥：擴(kuò)展應(yīng)用于LCD、TFT、COMS、生物醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域的精密元件干燥，溫度均勻度±1.5%。

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

99超碰中文字幕在线观看-天天干天天日天天舔婷婷-我看操逼的好看的女人的-日本一二三四五区日韩精品