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fischer XDL230非接觸式測厚儀信息

來源:無錫駿展儀器有限責任公司   2025年06月11日 11:48  

FISCHERSCOPE X-RAY XDL230 非接觸式測厚儀技術解析

一、核心測量原理

基于 X 射線熒光光譜(XRF)分析技術,設備通過 X 射線源發(fā)射初級射線激發(fā)樣品,使元素原子內層電子躍遷產(chǎn)生特征 X 射線熒光。探測器精準捕獲熒光的能量與強度數(shù)據(jù),結合基本參數(shù)法(FP 法),實現(xiàn)對元素成分、鍍層厚度的定量分析,全程非接觸式測量確保樣品無損傷。

二、關鍵技術參數(shù)與性能優(yōu)勢

多元素 / 多層鍍層分析能力

覆蓋原子序數(shù) 17(Cl)至 92(U)的元素檢測范圍,可同步分析 24 種元素及 23 層鍍層結構,滿足復雜多層膜體系的檢測需求。

高精度樣品定位系統(tǒng)手動 X/Y 平臺:移動范圍≥95×150mm,工作臺面 420×450mm,適配大尺寸樣品;

電動 Z 軸:140mm 行程支持手動 / 自動聚焦,可測量高度達 140mm 的異形件,兼容復雜結構樣品。

深度檢測與射線調控技術采用距離補償法(DCM),實現(xiàn) 0-80mm 深度腔體樣品的遠距離對焦測量;

X 射線發(fā)生器提供 30kV/40kV/50kV 三檔高壓調節(jié),適配不同材質與鍍層厚度的激發(fā)需求。

微米級準直與信號采集標配 φ0.3mm 圓形準直器,可選 φ0.1mm/φ0.2mm 圓形或 0.3mm×0.05mm 矩形準直器,實現(xiàn)微米級區(qū)域精準測量;

高計數(shù)率比例接收器配合 40-160 倍 CCD 攝像頭,輔以激光定位與 LED 照明,確保測量點實時校準。


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