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精度不夠?PLR3000光纖激光尺:0.2ppm誤差解鎖微米級制造

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2025年05月23日 08:45  

當“精度焦慮”成為制造業(yè)的隱形門檻:

在半導體光刻中,1nm偏差可能導致整片晶圓報廢;

在精密機床加工中,熱變形讓傳統(tǒng)測量工具“失靈”……  

“高精度、高穩(wěn)定、抗干擾”——工業(yè)超精密制造的三大痛點,如何破局?


PLR3000系列光纖激光尺基于激光干涉測量原理,具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時其熱源隔離設計,保證了更高的穩(wěn)定性,同時具有安裝快捷,易于準直等特點,在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)等高科技領域廣泛應用。

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核心優(yōu)勢

1、高精度

分辨率10nm(可拓展),線性測量精度0.2ppm,穩(wěn)頻精度0.02ppm,滿足納米級測量需求。

環(huán)境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響,確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。

2、靈活配置

支持單軸、雙軸、三軸輸出,輕松實現(xiàn)多自由度測量。

可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭,適配復雜場景。

3、高穩(wěn)定性與便捷性

激光光源與探頭分離設計,3米鎧裝光纖連接,避免設備散熱干擾,安裝靈活。

體積小巧,適配狹小空間,降低阿貝誤差風險。

4、廣泛適用性

最大量程4米(可拓展),支持動態(tài)速度達2m/s,覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運動場景。


光纖激光尺比傳統(tǒng)光柵精度高10倍,分辨率達原子層級(10nm=100個原子直徑?。?nbsp; PLR3000 系列光纖激光尺已在多個客戶端進行精度驗證:用差分干涉(DI)探頭對高精度納米位移臺進行閉環(huán)控制,在10mm行程內(nèi)任意位置實現(xiàn)納米級位置控制精度。

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