半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)的清洗原理

來源：寧波普瑞思儀器科技有限公司 2025年05月21日 13:27

　　半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體技術(shù)對半導(dǎo)體材料表面進(jìn)行清潔和處理的設(shè)備。其核心原理是通過等離子體中的高能粒子與材料表面相互作用，去除污染物、活化表面或改變表面性質(zhì)。

　　一、等離子體的產(chǎn)生

　　等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)（固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后），由帶電粒子（電子、離子）和中性粒子（原子、分子）組成。在等離子清洗機(jī)中，等離子體通常通過以下方式產(chǎn)生：

　　1.氣體輝光放電：

　　在低壓環(huán)境下，向反應(yīng)腔體中通入工藝氣體（如氧氣、氬氣、氮氣等）。

　　通過高頻電場（如射頻RF或微波）激發(fā)氣體，使其電離形成等離子體。

　　氣體分子被電離為離子、電子和自由基，同時伴隨發(fā)光現(xiàn)象（輝光）。

　　2.電源類型：

　　直流（DC）放電：適用于導(dǎo)電材料的表面處理。

　　射頻（RF）放電：廣泛用于半導(dǎo)體和精密材料處理，能量均勻分布。

　　微波（Microwave）放電：適用于高密度等離子體生成。

　　二、半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)通過等離子體中的高能粒子與材料表面相互作用，實現(xiàn)以下效果：

　　1.物理清洗：

　　離子轟擊：等離子體中的高能離子加速撞擊材料表面，去除附著的污染物（如灰塵、油脂、氧化物等）。

　　濺射效應(yīng)：通過物理轟擊將表面雜質(zhì)剝離。

　　2.化學(xué)清洗：

　　自由基反應(yīng)：等離子體中的活性自由基與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成揮發(fā)性物質(zhì)，從而去除污染物。

　　氧化還原反應(yīng)：例如，氧氣等離子體可將有機(jī)污染物氧化為CO2和H2O，氬氣等離子體可通過濺射去除無機(jī)污染物。

　　3.表面活化：

　　等離子體處理可改變材料表面的化學(xué)性質(zhì)，增加表面能，提高后續(xù)工藝（如粘接、鍍膜、焊接）的結(jié)合力。

　　例如，氧氣等離子體可引入羥基或羧基等活性基團(tuán)。

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