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kashiyama MU系列真空泵產(chǎn)品介紹

來源:上海爾迪儀器科技有限公司   2025年04月29日 13:50  

新品|介紹kashiyama MU系列 真空泵產(chǎn)品介紹

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kashiyama MU系列優(yōu)點(diǎn):

·在蝕刻等中等負(fù)載工藝中實(shí)現(xiàn)低功 耗表現(xiàn)

·占地面積較同類 20,000L/min 泵縮小約 35%

·增強(qiáng)工藝耐久性并提高能源效率

·符合各種標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)范產(chǎn)品規(guī)格

·升級(jí)的工藝耐久性與節(jié)能性能

 


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kashiyama MU系列 產(chǎn)品規(guī)格

產(chǎn)品型號(hào):MUP600E/MUP1200E/MUP1800E/MUH3000


型號(hào)

MUP600E

MUP1200E

MUP1800E

MUH3000

最大排氣速度(l/min)

10000

19000

30000

50000

極限壓力(Pa)

0.5

電源(50/60Hz)

3P AC200-220V

功率(kW)

0.8

0.95

1.1

1.6

冷卻水量/N2量

2l/min




氮?dú)獯祾?/span>

0-45

0-60

外形尺(LWH)mm

695×285×655

850x380x950

910X420X900


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