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探針臺的具體分類有哪些

來源:北京錦正茂科技有限公司   2025年04月26日 10:43  

 探針臺的分類可從多個維度進(jìn)行劃分,具體如下:

一、?按操作方式分類?

?手動探針臺?:晶圓載物臺、顯微鏡及定位器需人工操作。

?半自動探針臺?:部分功能自動化,減少人工干預(yù)。

?全自動探針臺?:自動化程度高,適用于gao效率、gao精度測試需求。

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二、?按測試樣品分類?

?晶圓測試探針臺?:專用于半導(dǎo)體晶圓的性能測試。

?LED/功率器件/MEMS測試探針臺?:分別對應(yīng)LED器件、功率半導(dǎo)體及微機(jī)電系統(tǒng)的測試。

?PCB/液晶面板/太陽能電池片測試探針臺?:適用于印刷電路板、顯示屏及光伏器件的檢測。

?材料表面電阻率/納米器件測試探針臺?:針對材料表面電學(xué)特性及納米級器件的分析。

三、?按應(yīng)用及測試環(huán)境分類?

?高頻/射頻/微波測試探針臺?:用于高頻信號場景下的測試。

?/低溫環(huán)境測試探針臺?:支持ji端溫度(如超低溫真空環(huán)境)下的器件性能評估。

?低電流/高壓/大電流測試探針臺?:滿足微弱電流或高壓大電流的測試需求。

?磁場/特殊氣體環(huán)境測試探針臺?:適用于磁場或特定氣體環(huán)境中的器件分析。

四、?按功能組件分類?

?顯微鏡類型?:包括體視顯微鏡、金相顯微鏡等,用于精密操作觀察。

?承載平臺?:含樣品臺、定位器平臺等,適配不同尺寸晶圓(2~12英寸)及控溫需求。

?移動組件?:提供X/Y/Z軸及旋轉(zhuǎn)(R/T)方向的精密定位功能。

五、?按產(chǎn)品級別分類?

?簡易型?:基礎(chǔ)功能,適用于簡單測試場景。

?標(biāo)準(zhǔn)型/分析型?:滿足常規(guī)實驗室或研發(fā)需求。

gao?:集成高精度傳感器及復(fù)雜環(huán)境模擬功能。

六、?其他特殊分類?

?非標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)測試探針臺?:針對特殊器件或非標(biāo)測試需求定制。

?直流/交流探針臺?:分別側(cè)重直流電性能(如電壓、電阻)或交流信號(如頻率、相位)測試。

以上分類綜合了探針臺的操作模式、測試對象、環(huán)境適配及功能設(shè)計等核心要素,不同類別適用于半導(dǎo)體、光電、集成電路等領(lǐng)域的多樣化測試需求。



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