Lintec 環(huán)境溫度補償傳感器即使在低溫下也能實現(xiàn)高精度流量測量。 它抑制了由于傳感器受熱而隨時間推移而引起的劣化，即使在臭氧等高度可降解的氣體下也能實現(xiàn)流量控制。 作為選件，高性能、全能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，可用于液化氣、微流量 F.S.、寬范圍、表面到面對面和接頭規(guī)格。 高性能質(zhì)量流量控制器 長處 精度±1%S.P. 工作溫度：5~50°C 金屬密封件 清潔（保證顆粒） 環(huán)境溫度補償傳感器 RS-485 通信 選擇 微流量 F.S. 與液化氣兼容 寬 使用示例 半導(dǎo)體制造前端工藝 由于 CVD（化學(xué)氣相沉積）ALD 沉積設(shè)備和蝕刻設(shè)備中使用了高反應(yīng)性氣體，因此必須采用具有高耐腐蝕性的金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器。 此外，在常溫常壓下，前驅(qū)體中含有大量的液化氣體，因此具有耐熱溫度和難以再液化的閥門結(jié)構(gòu)很重要。 MC-3000L 高精度質(zhì)量流量控制器可選擇支持液化氣體，最高工作溫度為 50°C（可選 55°C）。 分析器 可能需要分析儀來控制微小流速，但一般質(zhì)量流量控制器的最小 F.S. 為 5 SCCM，這無法控制微小流速。 MC-3000L 高精度質(zhì)量流量控制器可選擇 F.S.1 SCCM 或更低規(guī)格制造。 請聯(lián)系我們了解詳情。 此外，MC-3000L 高精度質(zhì)量流量控制器標配小死體積隔膜閥。