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臺式掃描電鏡（SEM）是一種高分辨率的顯微鏡，通過掃描樣品表面并利用電子信號生成圖像。其技術(shù)原理及構(gòu)造相對復(fù)雜，但理解其核心部分有助于更好地應(yīng)用這一工具。
技術(shù)原理方面，臺式掃描電鏡主要利用電子束作為探針，當電子束與樣品表面相互作用時，會產(chǎn)生多種類型的信號，如二次電子信號（SE）、反射電子信號（BSE）和特征X射線等。這些信號被接收器和檢測系統(tǒng)收集并測量，進而生成圖像和分析樣品特性。通過控制掃描區(qū)域的大小，可以實現(xiàn)對樣品的放大觀測。
在構(gòu)造上，臺式掃描電鏡主要由電子源、電子透鏡系統(tǒng)、樣品臺、掃描線圈和檢測系統(tǒng)五大部分組成。電子源通常采用熱陰極或場發(fā)射陰極，用于發(fā)射電子束。電子透鏡系統(tǒng)則用于聚焦和導(dǎo)向電子束，確保其能夠精確地掃描樣品表面。樣品臺用于放置待觀察的樣品，并可沿XY方向微動，以確保電子束能夠全面掃描樣品。掃描線圈產(chǎn)生一個水平和垂直掃描的磁場，驅(qū)動電子束在樣品表面進行迅速掃描。而接收器和檢測系統(tǒng)則負責(zé)收集和處理電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號，最終生成圖像。
綜上所述，臺式掃描電鏡以其高分辨率和精確性在多個領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，如材料科學(xué)、生物科學(xué)、電子工程和納米技術(shù)等。通過深入了解其技術(shù)原理和構(gòu)造，可以更好地利用這一工具進行科研和生產(chǎn)中的微觀觀測與分析。
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