Holmarc 自動化多波長激光劃線/燒蝕/切割站（帶微型檢測相機）HO-LSWS300X 型是一種多功能激光系統(tǒng)，設(shè)計用于精密劃線、燒蝕和切割。與傳統(tǒng)的機械方法相比，它是一種用于創(chuàng)建更窄劃線的有用工具。它是一種非接觸式工藝，可最大限度地減少微裂紋和基板損傷。激光劃線具有峰值功率高、光束質(zhì)量好的特點，因此劃出的線條更清晰，產(chǎn)量更高。激光劃線工藝的優(yōu)勢包括：可對硬質(zhì)或脆性材料進行清潔劃線；成本更低；崩邊和微裂紋更少；切割寬度更窄，每個晶片可加工更多零件；工藝公差更大，從而以更低的成本實現(xiàn)可靠的生產(chǎn)。

                                                                                                   規(guī)格

 自動多波長激光劃線/燒蝕/切割站

    劃線/燒蝕/切割區(qū)域 200 x 200 毫米、150 x 150 毫米和 100 x 100 毫米（可選）

    基于 Galvano 的劃線/切割方法

    Galvano 速度限制 0 - 1500 毫米/秒

    最小線寬 0.01 毫米

    重復(fù)精度 ± 0.002 毫米

    引導(dǎo)激光 紅色

    聚焦 機動化步進電機控制聚焦

    移動范圍 300 毫米

    記憶聚焦按鈕

    封閉式腔體設(shè)計

    氣體入口 主動輔助氣體吹掃選項

    成像/檢測/校準 是

  遠心數(shù)碼檢測/測量定位顯微鏡

    設(shè)備類型 直立式

    有效放大倍率 1 X

    基于 PC 的軟件測量

    工作距離 40 毫米

    工作喉管 100 毫米

    物鏡設(shè)計遠心

    C 型安裝座

    588 納米波長時的典型畸變率為 0.0083

    588 納米時的典型遠心率 0.02

    工作距離公差 ± 1 毫米

    成像照明 基于 HB-LED 的頂部、底部和同軸照明

    照明控制 連續(xù)可變 PC 控制

   傳感器類型 冷卻式 CMOS

    陣列對角線 15.86 毫米

    分辨率 2000萬像素，5472（高）x 3648（寬）

    像素尺寸 2.4 μm x 2.4 μm

    有效面積 13.1 毫米 x 8.8 毫米

    幀頻 15fps @ 5472 x 3648

    曝光時間 18 μs - 15 秒

    位深度 16 / 8 位

    相機尺寸 68 x 68 x 46 毫米

    數(shù)據(jù)接口 USB 3.0

                                                                                                  繪圖平臺

    平臺：自動 XYZ 平臺，帶 Z 軸自動聚焦功能

    聚焦和 XY：電動伺服電機控制

    分辨率：1 微米

    定位精度：10 微米（帶編碼器

    掃描速度：40 毫米/秒

    控制器：HOLMARC XYZ 步進控制器單元

激光器 1

532 nm LD PUMPED 全固態(tài) AOM Q 開關(guān)激光器

    波長（納米） ：  532 ± 1

    工作模式 ：  聲光 Q 開關(guān)

    平均功率（瓦）：20W @ 50kHz

    平均功率（瓦） ：  單脈沖能量 (mJ) * 重復(fù)頻率 (kHz)

    單脈沖能量（微焦耳） >400 uJ @ 50kHz

    重復(fù)頻率 (kHz) 50~100

    脈沖寬度 (ns) ~11 @ 50 kHz

    橫向模式 TEM00

    光束圓度 (%) >85

    M2 因子 <1.3

    預(yù)熱時間（分鐘） <10

    光束發(fā)散，全角（mrad） <2

    孔徑處的光束直徑（1/e2，毫米） ~3

    從底板算起的光束高度（毫米） 91

    冷卻方式 水冷

    工作溫度：10 ~ 35 (oC)

    電源電壓：100 - 240 VAC 或 24 VDC

    尺寸： 640 * 260 * 124 毫米

激光器 2

1064 nm LD PUMPED 全固態(tài) AOM Q 開關(guān)激光器

    波長 (nm) ：  1064 ± 1

    工作模式 ：  聲光 Q 開關(guān)

    平均功率（瓦） ：  35W @ 50kHz

    平均功率（瓦） ：  單脈沖能量 (mJ) * 重復(fù)頻率 (kHz)

    單脈沖能量（微焦耳） >700 uJ @ 50kHz

    重復(fù)頻率 (kHz) 50~100

    脈沖寬度 (ns) ~11 @ 50 kHz

    橫向模式 TEM00

    光束圓度 (%) >85

    M2 因子 <1.3

    預(yù)熱時間（分鐘） <10

    光束發(fā)散，全角（mrad） <2

    孔徑處的光束直徑（1/e2，毫米） ~3

    從底板算起的光束高度（毫米） 91

    冷卻方式 水冷

    工作溫度：10 ~ 35 (oC)

    電源電壓：100 - 240 VAC 或 24 VDC

    尺寸：640 * 260 * 124 毫米

    冷水機：有