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精準(zhǔn)分析光刻膠光學(xué)性能，安捷倫Cary系列光譜儀大顯身手
光刻是半導(dǎo)體制程中的關(guān)鍵步驟，隨著微電子制造技術(shù)的發(fā)展，對(duì)光刻的精密度、復(fù)雜度的要求逐漸增高。在這一過(guò)程中，光刻膠作為光刻技術(shù)不可或缺的組成部分，其性能對(duì)光刻的最終效果起著至關(guān)重要的作用。光刻膠也叫光致抗蝕劑，是一種光敏材料，在特定波長(zhǎng)光源的照射下會(huì)發(fā)生化學(xué)變化，如聚合或分解，可以將掩模版上的圖案轉(zhuǎn)印到晶圓表面。根據(jù)所使用的曝光波長(zhǎng)的不同，半導(dǎo)體光刻膠可分為紫外寬光譜（300 - 450 nm）、G 線(xiàn)（436 nm）、I 線(xiàn)（365 nm）、KrF（248 nm）、ArF（193 nm）、EUV（13.5 nm）幾種類(lèi)型。
表 1. 光刻膠種類(lèi)（按曝光波長(zhǎng)分類(lèi)）
光刻膠通常由光敏劑、樹(shù)脂、聚合物單體、溶劑和其他助劑組成。其中，光產(chǎn)酸劑是各類(lèi)化學(xué)增幅抗蝕劑的關(guān)鍵組分之一，可以增強(qiáng)抗蝕劑膜層的光照部分與非光照部分的溶解度差異反差，從而實(shí)現(xiàn)清晰的顯影成像。研究發(fā)現(xiàn)，產(chǎn)酸源透明度的改善是提高 193 nm 光刻膠性質(zhì)的關(guān)鍵因素之一。因此，研究產(chǎn)酸劑在溶劑和固體膜層中的透光性尤為重要。此外，透過(guò)率也是評(píng)估成品光刻膠膜的重要指標(biāo)之一。
紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)是評(píng)價(jià)樣品透過(guò)率和反射率等光學(xué)性能的常用設(shè)備。安捷倫 Cary4000/5000/6000i 系列光譜儀，均可測(cè)試低至175nm的波長(zhǎng)范圍，且具有優(yōu)異的光度穩(wěn)定性和線(xiàn)性范圍，在 193 nm、248 nm 這兩個(gè)關(guān)鍵波長(zhǎng)處具有優(yōu)異的性能表現(xiàn)。
圖 1. 193 nm 某樣品 10 次測(cè)試重復(fù)性最大偏差優(yōu)于 0.025 %
圖 2. 248 nm 某樣品 10 次測(cè)試重復(fù)性最大偏差優(yōu)于 0.010 %
安捷倫 Cary4000/5000/6000i 系列光譜儀，使用簡(jiǎn)單便捷，堅(jiān)實(shí)耐用，附件齊全，搭配液體支架可以測(cè)試液體膠水的透過(guò)率，通過(guò)固體樣品支架還可以測(cè)試固體膠膜的透過(guò)率。
圖 3. Cary4000/5000/6000i 系列光譜儀
圖 6. Cary4000 測(cè)試固化于玻片上的光刻膠透過(guò)率
結(jié)論
安捷倫 Cary4000/5000/6000i 系列光譜儀光學(xué)性能卓越，具備極低的噪音和雜散光水平，對(duì)于挑戰(zhàn)性的低波段具有優(yōu)異的穩(wěn)定性，其測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確可靠，在光學(xué)測(cè)試領(lǐng)域有極高的市場(chǎng)認(rèn)可度。
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