在熱式質(zhì)量流量計技術(shù)領(lǐng)域，青島芯笙微納電子科技有限公司以其研發(fā)實力和創(chuàng)新能力，再次展現(xiàn)了其行業(yè)的地位。近日，該公司近期在毛細(xì)管式熱式流量計的安裝方式敏感性研究方面取得了重要進(jìn)展，在實際應(yīng)用中，青島芯笙微納的毛細(xì)管熱式流量計展現(xiàn)出了良好的性能。特別是在安裝方式敏感性方面，該公司通過深入研究和測試，成功解決了行業(yè)在水平安裝和垂直安裝時存在的精度偏差和零漂問題。這一技術(shù)突破不僅提高了產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性，更為客戶提供了更加靈活和便捷的安裝選擇，進(jìn)一步鞏固了其在高精度流量測量技術(shù)方面的地位。

毛細(xì)管式熱式流量計對安裝方式敏感性研究

毛細(xì)管熱式流量計是基于托馬斯熱效應(yīng)原理，通過檢測氣體分子搬運(yùn)熱量的能力來對氣體流量實現(xiàn)高精度檢測。該技術(shù)最早由美國Brooks公司提出，并用于航天器推進(jìn)系統(tǒng)，后逐步用于半導(dǎo)體、真空鍍膜、液晶面板、材料制備等領(lǐng)域。其具體結(jié)構(gòu)如下圖1所示，金屬毛細(xì)管尺寸內(nèi)徑一般在0.2～0.4mm左右、外徑尺寸在0.3～0.5mm左右，通過在上面纏繞兩組電阻絲進(jìn)行加熱和檢溫，從而實現(xiàn)對氣體流量的檢測。該器件具有敏感度高、壓力敏感度低、耐酸堿腐蝕等特點(diǎn)，使其逐步成為高純氣體的主流計量技術(shù)。

圖1：毛細(xì)管流量傳感器示意圖

實際使用中，安裝方式可能存在各種可能性，部分毛細(xì)管流量計產(chǎn)品對安裝位置敏感，例如水平安裝和垂直安裝時存在精度偏差，甚至是零漂，原因在于水平安裝和垂直安裝時氣體分子重力作用效果不同，當(dāng)垂直安裝時，氣體分子在加熱區(qū)密度低、自由程大、活動劇烈，與非加熱區(qū)分子會產(chǎn)生除正常氣體流動之外的熱交換，如圖2所示。簡單來說就是內(nèi)部氣體會由于熱場不均勻時產(chǎn)生氣體“翻滾”，導(dǎo)致毛細(xì)管傳感器信號除了氣體流道導(dǎo)致的熱交換外，還有一部分干擾信號來自于重力和密度不均勻導(dǎo)致的氣體流動。這一誤差與毛細(xì)管尺寸相關(guān)性很高，當(dāng)毛細(xì)管直徑縮小到0.3mm時，其誤差可以忽略，其平均精度偏差約為0.2%，且全量程范圍內(nèi)的誤差均在規(guī)格要求內(nèi)（0～20%FS, Error <0.3%FS；20～100%, Error <1%RD）。具體測試結(jié)果，如圖3和圖4所示：

圖2：毛細(xì)管垂直安裝和水平安裝時垂直安裝時熱場分布對比。

圖3：安裝方式時熱場分布對比。

圖4：芯笙S700毛細(xì)管式流量計的安裝方式敏感性測試結(jié)果。

青島芯笙微納：持續(xù)創(chuàng)新，推動行業(yè)發(fā)展

青島芯笙微納電子科技有限公司始終致力于技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品升級。公司擁有一支由行業(yè)專家和資深工程師組成的研發(fā)團(tuán)隊，不斷攻克技術(shù)難題，為用戶提供更加精準(zhǔn)、可靠的流量計量解決方案。

此次發(fā)布的研究成果，不僅展示了青島芯笙微納電子科技有限公司在流量計技術(shù)領(lǐng)域的深厚實力，也為其贏得了市場的廣泛認(rèn)可和贊譽(yù)。未來，青島芯笙微納電子科技有限公司將繼續(xù)秉承“創(chuàng)新、品質(zhì)、服務(wù)”的企業(yè)理念，不斷推動熱式流量計技術(shù)的發(fā)展，為行業(yè)進(jìn)步貢獻(xiàn)更多力量

榮譽(yù)加冕，彰顯實力，技術(shù)創(chuàng)新推動未來

青島芯笙微納電子科技有限公司一直致力于技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量提升。公司的毛細(xì)管式熱式流量計和基于MEMS芯片的熱式流量計均展現(xiàn)了良好的性能和穩(wěn)定性。未來，公司將繼續(xù)加大研發(fā)投入，推出更多高性能、高精度的流量測量產(chǎn)品，為各行業(yè)提供更加精準(zhǔn)的流量計量解決方案。

近期，青島芯笙微納電子科技有限公司憑借其良好的技術(shù)實力和創(chuàng)新能力，榮獲了創(chuàng)客中國“市長杯”第一名這一重要獎項。這一榮譽(yù)不僅是對青島芯笙微納過去努力的肯定，更是對未來發(fā)展的鼓勵和鞭策。青島芯笙微納也將以此為契機(jī)，繼續(xù)加大研發(fā)投入，推動技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級，為客戶提供更加優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。