光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器，是一種利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。它廣泛應(yīng)用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，用于檢測刀具和工件的坐標，觀察和跟蹤走刀誤差，以補償?shù)毒叩倪\動誤差。光柵尺通過光學(xué)原理實現(xiàn)高精度的距離測量和角度測量，被廣泛用于數(shù)控機床和測量儀器等領(lǐng)域。其工作原理基于光學(xué)干涉，當(dāng)光線照射到光柵條上時，會形成一系列亮暗相間的光斑，這些光斑經(jīng)過讀取頭轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，最后信號處理器接受這些數(shù)字信號，再根據(jù)不同的處理算法，實現(xiàn)不同的測量，例如線性測量、角度測量、速度測量等。

光柵尺的優(yōu)點包括測量精度高、分辨率高、可靠性高、反應(yīng)速度快，可以實現(xiàn)微米級別的測量精度，適用于超高精度加工和測量領(lǐng)域。此外，光柵尺還具有很高的工作速度，可以在微秒或者毫秒級別內(nèi)完成一次測量，這使得它適用于高速運動設(shè)備的控制和反饋。光柵尺的分辨率通常在亞微米級別，常見的分辨率包括1微米、0.5微米、0.1微米等，一些特殊應(yīng)用可能使用更高分辨率的光柵尺，如0.01微米甚至更小。光柵尺的精度可以達到分辨率的十分之一到百分之一左右，即使在長距離測量中也能夠保持較高精度。?