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德國vacom MERKURION® 離子吸氣泵的產品介紹
離子吸氣泵 (IGP) 主要用于壓力 < 10 -5 mbar 的真空應用。其抽氣作用基于通過氣體放電不斷更新的吸氣層。該工作原理省去了移動部件 - 因此 IGP 完的全無振動、無的故障且維護成本低。它們是需要永的久可靠和深真空的封閉系統(tǒng)的理想選擇。放電電流與工作壓力成正比。一方面，這種效果使泵可用作粗壓力表，另一方面，它允許在低壓下非常低的能耗。因此，IGP 提供了一種實現(xiàn)和維持極的端真空環(huán)境的清潔且廉價的方法。
VACOM 憑借 MERKURION 系列將離子吸氣泵技術提升到了一個新水平。我們的 IGP 提供了一種清潔且經濟高效的方法，可實現(xiàn)并有效維持從高真空到極的高真空的壓力范圍。憑借各種不同的法蘭連接和泵尺寸，可以輕松集成到您現(xiàn)有的系統(tǒng)中。可選集成加熱器與內置溫度屏蔽相結合，可確保整個泵的溫度分布均勻。特別值得一提的是我們的 pro 系列泵，無需任何額外的絕緣措施（例如鋁箔）即可加熱。對于泵送惰性氣體，我們還為 pro 系列提供惰性氣體穩(wěn)定差動泵送元件（Ta/Ti 惰性二極管）。
技術數(shù)據(jù)
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