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冷場發(fā)射掃描電鏡是一種用于材料科學、化學領(lǐng)域的分析儀器，在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標配自動調(diào)整功能，可避免人為操作導致的差異。
創(chuàng)新點：
1、支持自動獲取數(shù)據(jù)在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標配自動調(diào)整功能，可避免人為操作導致的差異。此外，隨著儀器性能的提升，需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加，手動獲取各種大量數(shù)據(jù)會大大增加用戶的作業(yè)負擔。此系列產(chǎn)品可選配“EMFlow Creator"，用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定條件，自動獲取數(shù)據(jù)，這對于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動開發(fā)起到重要作用。
2、增加獲取信息的種類與數(shù)量通過SEM能夠收集到多種信號，且此系列產(chǎn)品可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數(shù)的同時能夠獲取多種信息。此外，為一次性獲取大量信息，像素擴展到了40,960 x30,720（選配），是之前型號的64倍。利用這一功能，可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評估多處局部的細微結(jié)構(gòu)。
3、增強信號檢測能力，SU8600開發(fā)了多個新型選配檢測器，加強了對凹凸信息、發(fā)光信息的檢測能力。此外，還提高了背散射電子信號檢測的響應速度。
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