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牛津電子束鍍膜機(jī)是一種高科技的表面處理設(shè)備，通過高能電子束在物質(zhì)表面形成穩(wěn)定而均勻的涂層，從而提高材料本身的耐磨、耐腐蝕、保護(hù)環(huán)境等方面的性能。這種設(shè)備廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車、電子、儀器儀表等領(lǐng)域。
牛津電子束鍍膜機(jī)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜?？烧舭l(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國(guó)牛津真空公司生產(chǎn)，臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性價(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。牛津電子束鍍膜機(jī)的核心技術(shù)是電子束物理學(xué)。其原理是將一束速度極快的電子流聚焦成微小的束，并使它以高速度轟擊物體表面，在產(chǎn)生的瞬間高溫和大氣壓力下，物質(zhì)表面便會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，從而形成一層均勻致密的涂層。
牛津電子束鍍膜機(jī)技術(shù)規(guī)格包括基底尺寸(3英寸，4英寸，6英寸)、基底旋轉(zhuǎn)(0~10rpm)、電子束源(Telemark電子束源，單袋或多袋電子束源可選)、熱蒸發(fā)源(多配置2套熱蒸發(fā)舟)等。這種設(shè)備臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性價(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。
需要注意的是，使用牛津電子束鍍膜機(jī)時(shí)，應(yīng)嚴(yán)格遵守設(shè)備操作規(guī)程，確保安全操作。
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