99超碰中文字幕在线观看-天天干天天日天天舔婷婷-我看操逼的好看的女人的-日本一二三四五区日韩精品

產(chǎn)品推薦:氣相|液相|光譜|質(zhì)譜|電化學|元素分析|水分測定儀|樣品前處理|試驗機|培養(yǎng)箱


化工儀器網(wǎng)>技術中心>技術參數(shù)>正文

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

等離子去膠在晶圓制造工藝中的應用

來源:東莞市晟鼎精密儀器有限公司   2023年08月14日 11:47  

等離子去膠在晶圓制造工藝中的應用


為什么要去除光刻膠?


光刻膠是半導體晶圓制造的核心材料。在晶圓制程中,光刻工藝約占整個晶圓制造成本的35%,耗時占整個晶圓工藝的40-50%,是半導體制造中核心的工藝。

bced854d72ee5026c13b2fb6e8b20392.jpeg


在光刻環(huán)節(jié)里有個步驟就是晶圓去膠,光刻膠在完成圖形復制和傳遞作用后,晶圓表面剩余光刻膠需要通過去膠工藝進行清除。

11a1948b31d44c179b929a95e51b8e57.jpeg

隨著后摩爾定律時代的到來,半導體行業(yè)轉(zhuǎn)向超淺結(jié)、多重圖形化超低k介電和3D架構(gòu),對光刻膠去膠工藝要求也隨之增高,需要更有效地處理復雜的器件結(jié)構(gòu)。在晶體管層面,去膠工藝引起的薄膜微小變化就會影響結(jié)電阻率、結(jié)深和摻雜劑活化,從而影響器件的性能。


那么光刻膠如何去除呢?


半導體光刻膠去除工藝,一般分成兩種,濕法去膠和干法去膠。相對于濕法去膠,等離子干法去膠利用高能等離子體處理光刻膠表面,去膠速度快,不需引入化學物質(zhì),減少了對晶圓材料的腐蝕和損傷,是現(xiàn)有去膠工藝中較好的方式。

YD_cnt_7_018ODqQJSyH8.PNG

*圖源:半導體行業(yè)觀察


晟鼎PLASMA去膠技術


晟鼎多年來堅持深耕等離子表面清洗活化,圍繞半導體行業(yè),晟鼎組建團隊投入研發(fā),迄今為止,獲得了多項等離子晶圓去膠、刻蝕等zhuanli。同時成立了蘇州半導體設備有限公司,不斷開拓晶圓領域的全新應用。

IMG_3099.png


ICP等離子去膠機


ICP等離子去膠機依托晟鼎多年的光刻去膠的經(jīng)驗積累,采用高密度、低損傷等離子源設計,同時配備晟鼎成熟的遠程ICP技術,達到高水平的去膠速率,并實現(xiàn)去膠損傷抑制;采用獨立腔室結(jié)構(gòu)設計,實現(xiàn)均勻的流場分布,去膠均勻性表現(xiàn)優(yōu)異。

3849561865.jpg

產(chǎn)品優(yōu)勢:

•兼容主流4-8寸圓形晶圓

•單次可處理兩片晶圓,處理過程保持較低溫度

•全自動程度高,實現(xiàn)全自動晶圓上下料、清洗流程

•等離子密度高,去膠效果好

3852316855.jpg

*設備除膠標準


RIE等離子去膠機


RIE PLASMA去膠機是適用于硅基材料的晶圓表面去膠的清洗設備,也可用于光刻膠去除,碳化硅刻蝕,硬掩膜層干法清除,刻蝕后表面清潔,氧化硅或氮化硅刻蝕,DESCUM,介質(zhì)與介質(zhì)間光阻去除等應用領域,材料適用范圍:4-8寸。設備穩(wěn)定可靠、易于維護、產(chǎn)能高。

RIE去膠機 (1).png



產(chǎn)品優(yōu)勢:

•高密度等離子體,各種工藝兼容性高

•清洗均勻性高,設備易于維護

•緊湊集成式設計、占地少


提升產(chǎn)品良率的解決方案

除了等離子去膠外,晟鼎作為等離子技術專家,在晶圓表面檢測與晶圓封測段也有廣泛的應用,致力為客戶打造提升產(chǎn)品良率的解決方案。

3891515044.jpg



免責聲明

  • 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的,應在授權范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
  • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
  • 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。
企業(yè)未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618
高台县| 宜丰县| 自贡市| 嵊州市| 西昌市| 邹城市| 石屏县| 乐业县| 九江市| 嘉义县| 芮城县| 阿拉尔市| 六安市| 昌黎县| 汉寿县| 越西县| 淳化县| 大同市| 正蓝旗| 博湖县| 西乌珠穆沁旗| 临澧县| 高州市| 峡江县| 辽宁省| 石柱| 黑水县| 大关县| 衡阳市| 龙州县| 鸡西市| 太原市| 河北区| 拉孜县| 岱山县| 青铜峡市| 剑阁县| 平谷区| 洛阳市| 安化县| 莎车县|