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電感耦合等離子體質譜儀是在這個行業(yè)中比較常用到的一種設備，它主要是由等離子體發(fā)生器、霧化室、矩管、四極質譜儀和一個快速通道電子倍增管等部件組成，下面我們就來詳細的介紹下電感耦合等離子體質譜儀工作原理。
電感耦合等離子體質譜儀工作原理是根據(jù)被測元素通過一定形式進入高頻等離子體中，在高溫下電離成離子，產(chǎn)生的離子經(jīng)過離子光學透鏡聚焦后進人四極桿質譜分析器按照荷質比分離，既可以按照荷質比進行半定量分析，也可以按照特定荷質比的離子數(shù)目進行定量分析。該類型質譜儀主要由離子源、質量分析器和檢測器三部分組成，還配有數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、供電控制系統(tǒng)等。
電感耦合等離子體質譜儀，它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的*大功率的高頻射頻信號在線圈內部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。質譜是一個質量篩選和分析器，通過選擇不同質核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。
運行環(huán)境：
如果溫度變化太大，光學元件受溫度變化的影響就會產(chǎn)生譜線漂移，造成測定數(shù)據(jù)不穩(wěn)定，一般室溫要求維持在70～75攝氏度間的一個固定溫度，溫度變化應小于±1攝氏度。而環(huán)境濕度過大，光學元件，光柵容易受潮損壞或性能降低。電子系統(tǒng)，尤其是印刷電路板及高壓電源上的元件容易受潮燒壞。濕度對高頻發(fā)生器的影響也很重要，濕度過大，輕則等離子體不容易點燃，重則高壓電源及高壓電路放電擊毀元件，如功率管隔直陶瓷電容擊穿，輸出電路阻抗匹配、網(wǎng)絡中的可變電容放電等，以至損壞高頻發(fā)生器。一般室內濕度應小于百分之70，應控制在百分之45～60之間，應有空氣凈化裝置。
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