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高壓過程監(jiān)測氣體分析儀 XPR3的特點
Transpector XPR3 是基于四極桿的下一代高壓過程監(jiān)測器。 盡管外觀緊湊（總長度 237 mm），但它可以在從 2.6 Pa 到高真空的寬范圍內(nèi)使用。 不需要大型復(fù)雜的差速排氣裝置。
特點
●重新設(shè)計的離子源減少了污染物的影響，延長了使用壽命，并提供清晰的信號來自雙離子源的一個離子流被送入四極桿過濾器進行分壓測量，另一個離子流被發(fā)送到全壓收集器。 這使得連續(xù)的總壓力測量具有比離子堿更高的精度。 這改善了高壓范圍內(nèi)的靈敏度損失，并以1.1 Pa為單位實現(xiàn)了測量度。
●在PVD工藝壓力下運行的新型EM（二次電子倍增管）可實現(xiàn)快速干凈的數(shù)據(jù)收集，并且無需從FC更改為EM而便于數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換。
●新型擴展四極桿提高了低質(zhì)量范圍內(nèi)的過濾性能和豐度靈敏度，以及氫氣檢測靈敏度。
應(yīng)用實例
?PVD工藝模塊
?預(yù)清洗模塊
?脫氣模塊
雙離子源經(jīng)過改進，可最大限度地減少污染物的影響，從而延長離子源的使用壽命。
來自該雙離子源的離子流之一被送入四極桿過濾器進行分壓測量，另一個離子流被發(fā)送到全壓收集器。 這允許以比離子計更高的精度連續(xù)測量總壓力。
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