99超碰中文字幕在线观看-天天干天天日天天舔婷婷-我看操逼的好看的女人的-日本一二三四五区日韩精品

產(chǎn)品推薦:氣相|液相|光譜|質(zhì)譜|電化學(xué)|元素分析|水分測(cè)定儀|樣品前處理|試驗(yàn)機(jī)|培養(yǎng)箱


化工儀器網(wǎng)>技術(shù)中心>工作原理>正文

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

薄膜沉積設(shè)備解析——PECVD設(shè)備的原理和應(yīng)用

來(lái)源:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司   2023年02月28日 09:29  

薄膜沉積是在半導(dǎo)體的主要襯底材料上鍍一層膜。這層膜可以有各種各樣的材料,比如絕緣化合物二氧化硅,半導(dǎo)體多晶硅、金屬銅等。用來(lái)鍍膜的這個(gè)設(shè)備就叫薄膜沉積設(shè)備。

從半導(dǎo)體芯片制作工藝流程來(lái)說(shuō),位于前道工藝中。



薄膜制備工藝按照其成膜方法可分為兩大類:物理氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD),其中CVD工藝設(shè)備占比更高。

物理氣相沉積(PVD)指將材料源表面氣化并通過(guò)低壓氣體/等離子體在基體表面沉積,包括蒸發(fā)、濺射、離子束等;

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指通過(guò)氣體混合的化學(xué)反應(yīng)在硅片表面沉積一層固體膜的工藝,根據(jù)反應(yīng)條件(壓強(qiáng)、前驅(qū)體)的不同又分為常壓CVD(APCVD)、低壓CVD(LPCVD)、等離子體增強(qiáng)CVD(PECVD)、高密度等離子體CVD(HDPCVD)和原子層沉積(ALD)。




免責(zé)聲明

  • 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來(lái)源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
  • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
  • 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
企業(yè)未開(kāi)通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618
沧州市| 攀枝花市| 丽江市| 轮台县| 湛江市| 宝丰县| 台山市| 安泽县| 东方市| 杭锦后旗| 贵州省| 扎赉特旗| 阳西县| 普兰店市| 广宁县| 富源县| 枞阳县| 浮梁县| 永兴县| 资溪县| 无为县| 乐安县| 砀山县| 泗阳县| 安图县| 大厂| 米脂县| 左贡县| 威海市| 长子县| 九龙城区| 芷江| 西充县| 永和县| 会东县| 通州区| 五华县| 自贡市| 运城市| 灌阳县| 三亚市|