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光學(xué)輪廓儀是一種全自動測量設(shè)備。操作員只需安裝被測工件，在驗證軟件上設(shè)置掃描的開始和結(jié)束位置，點擊“開始”按鈕，測量針就會自動接觸工件表面并根據(jù)設(shè)置的位置進行掃描；在輪廓掃描過程中，軟件界面會實時繪制輪廓曲線；掃描后，操作員可以通過輪廓分析工具分析生成的輪廓曲線，以獲得直線度、圓度、角度、距離、間距等輪廓參數(shù)。
光學(xué)輪廓儀應(yīng)該怎么用
輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
輪廓儀的優(yōu)勢：
1、美國硅谷研發(fā)的合心技術(shù)和系統(tǒng)軟件；
2、關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌；
3、PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)；
4、Nikon干涉物鏡；
5、NI信號控制板和Labview64 控制軟件；
6、TMC光學(xué)隔振臺；
7、測量準確度重復(fù)性達到先進水平。
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