渦輪分子泵系統(tǒng)操作注意事項及常見故障排除

來源：檢碩科學器材（上海）有限公司 2022年10月25日 10:54

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渦輪分子泵系統(tǒng)的操作注意事項

（1）不能在前級泵工作時（前級管道接通）和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸汽迅速從前級管路返流到泵的清潔端。

（2）分子泵系統(tǒng)在停機充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進行充氣。

（3）選擇抽氣系統(tǒng)前級泵的大小時，應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。

（4）不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運轉(zhuǎn)。

（5）分子泵入口應裝設(shè)防護網(wǎng)，以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。

渦輪分子泵系統(tǒng)常見故障及排除

渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)的常見故障及排除方法

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