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表面輪廓儀是一款三維表面形貌測量設備，采用白光共聚焦技術，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高、速度快、重復性好的優(yōu)點，該儀器性價比高，可用于取代傳統(tǒng)的探針式表面形貌儀與干涉式表面形貌儀。
表面輪廓儀測量具有非破壞性，測量速度快，準確度高，測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒)，尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面，不受樣品反射率、環(huán)境光的影響，測量簡單，樣品無需特殊處理。
傳統(tǒng)意義上，表面輪廓儀被用來測量樣品的表面特性。但在測量過程中，所測量的樣品需保持在靜止的狀態(tài)下，如果樣品不穩(wěn)定或者處于運動狀態(tài)則會引起圖像混亂模糊、數(shù)據(jù)不完整或者數(shù)據(jù)丟失等現(xiàn)象。然而對于MEMS設備，需要確定該設備處于運動狀態(tài)時的形貌特征，了解和確定其在運動狀態(tài)下的功能和特征對研發(fā)和生產(chǎn)質(zhì)量控制至關重要，作為質(zhì)量檢驗，只有動態(tài)測量才可以真正模擬MEMS實際運行狀態(tài)，從而達到正真的功能檢測。
表面輪廓儀即可實現(xiàn)這一測量功能，運用動態(tài)測量模塊可以形成一個動態(tài)測量體系。一個頻閃的LED光源同步于MEMS設備的觸發(fā)信號，通過調(diào)整光源的頻閃頻率，其MEMS設備的運動被有效“靜止”。實現(xiàn)光學輪廓儀在動態(tài)設備上進行測量。
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