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分子真空泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子。使之壓縮、排氣的一種真空泵。
可分為：
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅(qū)送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合型的分子真空泵。
分子泵應該如何清洗？
(1)關掉分子泵，進行排氣。
(2)從設備上小心卸下分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分，以免影響密封性。
(3)卸下冷卻器、潤滑油包等。
(4)將分子泵的高真空接口朝下，垂直地放人一個盛有*的容器中，液面高度略低于前級真空接口。
(5)上下活動分子泵幾次，便于分子泵的定子和轉子的葉片清洗。換掉*，加人新的*，最少要重復一次。每次在*中浸泡大概5~10min。
(6)取出分子泵，將高真空接口朝上，再緩慢放平，以便排出磁性軸承中的酒精。
(7)用一個網(wǎng)格放在高真空接口上，然后朝下放置30min以上，排出清洗酒精，注意接口的密封表面不要損傷。
(8)接上前級真空泵，在關閉分子泵的情況下，利用前級泵抽真空，使真空度達到大概10^-1Pa左右，以便*清除分子泵中殘留的*。
(9)因前級真空泵中有酒精，需更換前級泵真空油。
(10)接上分子泵開始工作，因為經(jīng)過處理后，分子泵中仍有殘留的酒精存在，因此第一次抽真空比較慢，屬于正常情況。
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