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表面粗糙度測量儀工作原理：電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一，在傳感器測桿的一端裝有金剛石觸針，觸針曲率半徑很小，測量時(shí)將觸針搭在工件上，與被測表面垂直接觸，利用驅(qū)動(dòng)器以一定的速度拖動(dòng)傳感器。由于被測表面輪廓峰谷起伏，觸狀在被測表面滑行時(shí)，將產(chǎn)生上下移動(dòng)。此運(yùn)動(dòng)經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地上下運(yùn)動(dòng)，從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化。傳感器的線圈與測量線路是直接接入平衡電橋的，線圈電感量的變化使電橋失去平衡，于是就輸出一個(gè)和觸針上下的位移量成正比的信號(hào)，經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化放大、相敏檢波后，獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號(hào)。此后，將信號(hào)分成三路：一路加到指零表上，以表示觸針的位置，一路輸至直流功率放大器，放大后推動(dòng)記錄器進(jìn)行記錄；另一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后，進(jìn)入積分計(jì)算器，進(jìn)行積分計(jì)算，即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。
表面粗糙度測量儀是評(píng)定零件表面質(zhì)量的臺(tái)式粗糙度儀?？蓪?duì)多種零件表面的粗糙度進(jìn)行測量，包括平面、斜面、外圓柱面，內(nèi)孔表面，深槽表面及軸承滾道等，實(shí)現(xiàn)了表面粗糙度的多功能精密測量。表面粗糙度的測量方法基本上可分為接觸式測量和非接觸式測量兩類。在接觸式測量中主要有比較法、印模法、觸針法等；非接觸測量方式中常用的有光切法、實(shí)時(shí)全息法、散斑法、像散測定法、光外差法、AFM、光學(xué)傳感器法等。
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