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激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等。它既可以對幾十米的大量程進(jìn)行精密測量，也可以對手表零件等微小運(yùn)動進(jìn)行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲器上記錄槽間距的測量等等。
激光干涉儀的功能特性：
(1)接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點(diǎn)漂移等問題。
(2)利用多普勒效應(yīng)，計(jì)數(shù)器計(jì)頻率差的變化，不受激光強(qiáng)度和磁場變化的影響。在光強(qiáng)度衰減90%時(shí)仍可得到滿意的信號，這對于遠(yuǎn)距離測量是十分重要的，同時(shí)在近距離測量時(shí)又能簡化調(diào)整工作。
(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預(yù)熱時(shí)間。
用激光干涉儀作為機(jī)床的測量系統(tǒng)可以提高機(jī)床的精度和效率。起初僅用于高精度的磨床、鏜床和坐標(biāo)測量機(jī)上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。但由于在一般機(jī)床上使用感應(yīng)同步器和光柵一般能達(dá)到精度要求，而激光儀器的抗振性和抗環(huán)境的干擾性能差，且價(jià)格較貴，目前在機(jī)械加工現(xiàn)場使用較少。
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