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低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力*低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。
低溫泵是采取機(jī)械形式制冷的低溫液體循環(huán)設(shè)備，該設(shè)備特別適合于需要維持低溫環(huán)境、固定低溫環(huán)境下工作的化學(xué)、生物、物理實(shí)驗(yàn)室，是食品工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、大學(xué)院校、科研、遺傳工程、高分子工程等實(shí)驗(yàn)室的常用設(shè)備。
優(yōu)勢：
(1)低溫泵在獲取潔凈和無油真空方面，具有其他產(chǎn)品無法相比的優(yōu)勢。它可以作為研究其他真空泵對真空污染程度的標(biāo)準(zhǔn)；
(2)低溫泵在抽除水蒸汽和其他潮濕混合氣方面具有較大抽速；
(3)低溫泵在抽取輕重量分子方面也具有較大抽速；
(4)在要求大抽速的真空設(shè)備中，低溫泵是實(shí)用經(jīng)濟(jì)的。商品化的低溫泵可以在很小的口徑下提供大的抽速；
(5)低溫泵是基于低溫吸附而工作的，不需要其他電子材料，不會(huì)有波動(dòng)；
(6)在真空中無任何運(yùn)動(dòng)部件，高穩(wěn)定性，也不會(huì)帶來密封問題；
(7)低溫泵的安裝無任何方向要求；
(8)低溫泵還可以進(jìn)行選擇性的抽取某種氣體。
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