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SDAJ-QV表面塵埃粒子計數(shù)器 測試規(guī)程

來源:天津津梁儀器設(shè)備有限公司   2022年02月19日 18:12  

表面塵埃粒子計數(shù)器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品,光學鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機臺等表面津附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
本儀器的核心零部件(光學傳感器)及控制器等采用津萊特浩斯津生產(chǎn)的組件來保證該產(chǎn)品的測量精度。
本儀器外殼采用SUS316L不銹鋼制作,并經(jīng)表面鈍化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作,檢測光學傳感器采用津津整機,吸氣的氣泵為旋片式津氣泵,并可通過流量傳感器來自動調(diào)節(jié)氣泵的運行流量,使其保持在一個穩(wěn)定的檢測流量范圍內(nèi),表面測試探頭根據(jù)津同類產(chǎn)品進行改良優(yōu)良,并配有防靜電軟管與主機連接,其于用排氣及吸氣過濾的囊式過濾器。內(nèi)部濾材為津津,從而保證儀器的檢測精度及運行穩(wěn)定性。
表面粒子計數(shù)器由三部分組成:
掃描取樣頭:取樣的同時可以提供一定壓力的吹掃氣流,可以集成操作控制器;
激光塵埃粒子計數(shù)器主機:主要由氣泵、傳感器、主控板、過濾器以及電池組成;
連接主機與掃描采樣頭的管道:包括取樣管道與吹掃管道。
技術(shù)參數(shù):
檢測精度:0.3μm(0.1μm可定制)
檢測通度:0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、7.0、10.0μm八通道
(可定制:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0μm)
計數(shù)效率:0.3μm  50%±20%(第一粒徑通道)  0.5μm  100%±10%(第二粒徑通道)
采樣流量:28.3L/min  ±5%,可通過觸摸屏控制自行調(diào)整
采樣時間:0~24h
重復(fù)性:相對標準偏差≤10%
粒徑津度:相對誤差≤10%
自凈時間:≤10 min

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光源:激光二極管,經(jīng)過特殊工藝優(yōu)化理論壽命為20年(MTT)或壽命大于40000小時
顯示方式:觸摸顯示屏
允許采樣濃度:35000顆/L(塵埃顆粒粒徑不小于0.3um),采樣空氣中不得含酸堿等腐蝕性氣體
外形尺寸260mm×260mm×260mm
重   量:7.5kg
功   耗:35W
電   源:16.8V內(nèi)置鋰電池/DC16-24V外部寬電壓供電
粒徑通道:0.3um、0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um
采樣周期:3s、6s
數(shù)據(jù)存儲:5000組
表面材質(zhì):SUS316L
連續(xù)工作時間:8小時
使用環(huán)境條件:溫度:10-35℃      濕度:20-75RH     大氣壓:86-106kPa
零 計 數(shù):≤10分鐘內(nèi)連續(xù)3分鐘為0
執(zhí)行標準:ISO/FDIS 21501-4:2018、GB/T 6167-2007、JJF 1190-2008
采樣口徑:1/4”Flaretek?
采樣溫度:32-302°F(0-150℃)
操作界面:彩色觸摸屏控制便于操作和設(shè)定,能同時顯示6個通道的數(shù)據(jù),分辨率320×240,屏幕數(shù)據(jù)縮放功能
輸出方式:內(nèi)置熱敏打印機或485協(xié)議
電源:AC100~240V 50~60HZ
語言:中、英、德、日等多國語言

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