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鍍膜機冷阱排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空供給前提，以后當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵構成串連，以這樣的方式達成抽氣動作。排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大多數(shù)構成。機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用寬泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封成效并依賴機械的方法不停的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不停膨脹從而獲取真空。
鍍膜機冷阱機械泵常常被用來抽除干燥的空氣，但不可以抽除含氧量過高、有爆炸性和腐化性的氣體，機械泵一般被用來抽除永遠性的氣體，可是對水氣沒有好的成效，所以它不可以抽除水氣。旋片泵中起主要作用的零件是定子、轉子等，轉子在定子里面但與定子不齊心軸，象兩個內切圓，轉子槽內裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片牢牢貼在定子的內壁。它的兩個彈片交替起著雙方面的作用，一方面從進氣口吸進氣體，另一方面壓縮已經吸進的氣體，將氣體排出泵外。
轉子每旋轉一周，泵達成兩次吸氣和兩次排氣。當泵連續(xù)順時針轉動時，旋片泵不停的經過進氣口吸入氣體，又從排氣口不停的排出泵外，實現(xiàn)對容器抽氣的目的。為了提升泵的極限真空度，均將泵的定子浸在油里面這樣，在各處的空隙中及有害空間里面常常保持足夠的油，把縫隙填滿，所以油一方面起到了潤滑作用，另一方面又起了密封和擁塞縫隙及有害空間的作用，防備氣體分子經過各樣渠道反流到壓強低的空間去。
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