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借助白光干涉儀我們可以對(duì)光學(xué)器件進(jìn)行嚴(yán)格的表面質(zhì)量檢測(cè)。光學(xué)器件屬于超精密加工的產(chǎn)物，因此其表面質(zhì)量等級(jí)都非常高，由于其高透明度，一般的非接觸式光學(xué)影像方法也束手無(wú)策。利用光學(xué)干涉原理研制而成的白光干涉儀能很好地解決這個(gè)難題，為光學(xué)鏡片和玻璃的表面質(zhì)量檢測(cè)提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。
白光干涉儀為非接觸式測(cè)量，避免物件受損。多重視野鏡片方便物鏡的快速切換。納米級(jí)垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。高速數(shù)字信號(hào)處理器實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需要幾秒鐘。掃描儀采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。測(cè)量軟件基于windows操作系統(tǒng)的用戶(hù)界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
白光干涉儀的精度選擇：
精度高的白光干涉儀是較好的白光干涉儀。為什么這么說(shuō)并非白光干涉儀的其他功用不重要，咱們知道任何一款電子衡器其構(gòu)成結(jié)構(gòu)多大同小異的，而許多產(chǎn)品不同只是用材的差異性，并非技能型的差異性。但精度這個(gè)不是單獨(dú)用材就能夠處理的，它是一款白光干涉儀的規(guī)范，因而也決定其價(jià)格。
白光干涉儀的穩(wěn)定性：
一個(gè)白光干涉儀不把穩(wěn)定性放在主要位置，那并不代表穩(wěn)定性不重要，只能說(shuō)先要滿足精度靈敏度后，那么這個(gè)穩(wěn)定性才具有意義。一旦精度靈敏度都滿足了，那么穩(wěn)定性也是舉足輕重的地位了。它們常常會(huì)使得試驗(yàn)進(jìn)程中減少了無(wú)數(shù)的煩惱、數(shù)據(jù)差錯(cuò)等，測(cè)量成果也因而減少了累計(jì)差錯(cuò)，然后防止了最終演變數(shù)據(jù)出錯(cuò)。
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