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TEM氣體加熱樣品桿是通過MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）微加工工藝，在透射電鏡內(nèi)部搭建可視化NANO-LAB（納米實(shí)驗(yàn)室）和四電極反饋控溫模塊，加熱區(qū)覆蓋整個(gè)觀測區(qū)域，升溫快、熱場穩(wěn)定且均勻，實(shí)現(xiàn)樣品的氣氛環(huán)境皮米級(jí)高分辨成像和精準(zhǔn)、均勻、安全控溫。
設(shè)備的氣體流道采用惰性材料防腐設(shè)計(jì)，進(jìn)氣采用納流體微分控制方式，可以有效防止?jié)B漏，革命性提升原位設(shè)備安全性，保障實(shí)驗(yàn)過程電鏡安全。對(duì)應(yīng)電鏡原位觀察而言，可觀察范圍基本在微米級(jí)別，整體可觀察體積小于納升，因此過量氣體對(duì)實(shí)驗(yàn)毫無幫助，且引入巨大安全風(fēng)險(xiǎn)，超新芯提供的原位氣氛納流控安全管理系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)納升級(jí)別氣體引入，高效準(zhǔn)確的納流體微分控制氣體的流速流量及精確通過樣品觀察區(qū)域，且實(shí)驗(yàn)中引入總氣體極其微量（小于25 μL），即使在芯片窗體薄膜破裂的情況下，也不會(huì)有大量氣體滲漏，使得電鏡的安全得以保證，并且實(shí)驗(yàn)不受影響，可持續(xù)進(jìn)行。
該設(shè)備可用于電鏡樣品在不同的高溫條件下的結(jié)構(gòu)表征。該儀器主要在多相催化、納米材料合成、能源材料及金屬&合金的腐蝕等研究領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用。
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