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小型蒸鍍儀是一種在真空條件下加熱蒸發(fā)容器中待蒸發(fā)材料的方法，以使原子或分子蒸發(fā)并從表面逸出以形成蒸氣流，進(jìn)入基材或基材表面，然后凝結(jié)成固體膜。
小型蒸鍍儀包括以下基本過程：
?。?）加熱蒸發(fā)過程：包括從冷凝相變?yōu)闅庀嗟倪^程，并且每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同溫度下具有不同的飽和蒸氣壓。
（2）氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源和基質(zhì)之間的傳輸，即原子或分子在周圍大氣中的飛行過程。
?。?）蒸發(fā)的原子或分子在基板表面上的沉積過程。即，蒸發(fā)，冷凝，成核，成核生長，形成連續(xù)的膜。由于基材的溫度遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源的溫度，因此氣態(tài)分子將直接經(jīng)歷從基材表面上的氣態(tài)到固態(tài)的相變過程。
小型蒸鍍儀中有兩個不同用途的蒸發(fā)頭：它們用金屬箱蒸出以進(jìn)行碳蒸發(fā)。注意：使用碳棒蒸發(fā)頭時，一根電極線連接到儀器背面的黑孔，一根電極線連接到紅色孔；使用金屬蒸發(fā)頭時，一根電極線連接到儀器背面的黑孔，一根電極線連接到綠色孔。
1、將要濺射的基材放入氣相沉積設(shè)備的腔室中。
2、根據(jù)所需的蒸發(fā)材料選擇金屬蒸發(fā)頭/鎢筐或碳蒸發(fā)頭，并按照儀器操作規(guī)程的里德規(guī)程安裝所需的蒸發(fā)材料。使用碳棒蒸發(fā)頭時，一根電極線連接到儀器背面的黑孔，一根電極線連接到紅色孔；使用金屬蒸發(fā)頭時，一根電極線連接到儀器背面的黑孔，一根電極線連接到綠色孔。
3、按照儀器操作規(guī)則逐步操作儀器，實(shí)驗(yàn)結(jié)束后取出樣品。由于長期使用會在腔室周圍沉積一層厚厚的涂層，因此請根據(jù)實(shí)際情況及時清潔腔室。但是，請勿使用有機(jī)試劑（如丙酮，乙醇等）清潔橡膠圈，以免由于老化而漏氣。關(guān)閉主機(jī)電源和原點(diǎn)。最后，切斷儀器的主電源并蓋上儀器。
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