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原位液體電化學(xué)樣品臺是通過MEMS微加工工藝，在標(biāo)準(zhǔn)的掃描電鏡樣品臺基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)電路，搭建可視化NANO-LAB和電學(xué)控制模塊，配合外接法蘭可與電化學(xué)工作站連接通信。原位掃描電化學(xué)反應(yīng)系統(tǒng)在標(biāo)準(zhǔn)樣品臺內(nèi)置三電極電學(xué)模塊，可在掃描電鏡中實(shí)現(xiàn)液體樣品的電化學(xué)反應(yīng)過程的實(shí)時動態(tài)成像。超新芯提供的SEM液相電化學(xué)樣品臺可以同時對四個液體樣品（三個靜態(tài)和一個流體）進(jìn)行觀察，每個樣品都被密封在各自的芯片內(nèi)，且互不影響。芯片采用與原位透射電子顯微系統(tǒng)一樣的上下兩片芯片，通過鍵合內(nèi)封和環(huán)氧樹脂外封與電鏡的真空分隔，以確保液體無泄漏風(fēng)險。SEM液體電化學(xué)樣品臺的用途有:
(1)電化學(xué)
納米電催化劑制備
電化學(xué)腐蝕
電鍍
半導(dǎo)體電路電沉積
有機(jī)電合成
環(huán)境污染物去除
（2）電池
電極表面鋰化和脫鋰的過程
鋰硫電池中多硫化鋰的溶解和沉積
金屬空氣電池放電產(chǎn)物的生成與分解
固體-電解質(zhì)界面（SEI膜）觀察
金屬枝晶的生長
（3）電催化
氫析出/氧還原現(xiàn)象的觀測
小分子電催化
電催化位點(diǎn)的選擇性觀察
(1)電化學(xué)
納米電催化劑制備
電化學(xué)腐蝕
電鍍
半導(dǎo)體電路電沉積
有機(jī)電合成
環(huán)境污染物去除
（2）電池
電極表面鋰化和脫鋰的過程
鋰硫電池中多硫化鋰的溶解和沉積
金屬空氣電池放電產(chǎn)物的生成與分解
固體-電解質(zhì)界面（SEI膜）觀察
金屬枝晶的生長
（3）電催化
氫析出/氧還原現(xiàn)象的觀測
小分子電催化
電催化位點(diǎn)的選擇性觀察
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