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表面輪廓儀采用觸針與被測(cè)樣品直接接觸的方式來測(cè)定表面輪廓，獲得表面輪廓曲線，能夠測(cè)量臺(tái)階高度、寬度、樣品表面粗糙度及相關(guān)參數(shù)，并能進(jìn)行應(yīng)力測(cè)量。測(cè)量力500μN范圍內(nèi)可自由設(shè)定，系統(tǒng)自動(dòng)水平補(bǔ)正，適用于半導(dǎo)體、微機(jī)電、材料、物理等領(lǐng)域的研究。
表面輪廓儀能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè)，模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測(cè)儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢(shì)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護(hù)成本，從而提高效率。
表面輪廓儀產(chǎn)品功能：
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測(cè)量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測(cè)功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級(jí)別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量等自動(dòng)化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。
表面輪廓儀采用的是非接觸式測(cè)量技術(shù)，具有亞納米測(cè)量精度（所有放大倍數(shù)下），可以更快更好地測(cè)量各種樣品表面，是一款具有非常高投資回報(bào)率的產(chǎn)品。滿足各種應(yīng)用需求，包括平面度，粗糙度和波紋度，薄膜，臺(tái)階高度，適用于幾乎任何材質(zhì)表面。
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