質(zhì)量流量控制技術(shù)，未有的過程精度

為真正實現(xiàn)對每個過程的控制，用戶必須準確測量進行中的過程 — 范圍涉及饋線、倉室等每一處 — 然后利用所得到的實時信息確全程準確按照目標(biāo)執(zhí)行并達到目標(biāo)產(chǎn)率。

作為一家在液體準確測量與控制方面*的企業(yè)，布魯克斯儀器數(shù)十年來不斷堅持創(chuàng)新熱質(zhì)量流量技術(shù)，推出新產(chǎn)品并不斷提升現(xiàn)有系統(tǒng)性能以突破現(xiàn)有熱質(zhì)量流量技術(shù)在準確性、響應(yīng)速度、精度和重現(xiàn)性方面的限制。

布魯克斯質(zhì)量流量設(shè)備在各國得到廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵原因：

• 擁有業(yè)內(nèi)種類齊全的產(chǎn)品系列可滿足各種應(yīng)用需求
• 創(chuàng)新型 MultiFlo™ 技術(shù)可使一臺設(shè)備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統(tǒng)中拆除設(shè)備，同時還能夠提升過程氣體的測量準確性
• 產(chǎn)品范圍全面，包括彈性體密封和金屬密封選件
• 超高純度設(shè)備，專為滿足薄膜、半導(dǎo)體以及其他高科技行業(yè)需求而設(shè)計

關(guān)鍵應(yīng)用

• 熱處理、切割等其他熱過程
• 半導(dǎo)體和 LED 生產(chǎn)工具
• 薄膜淀積系統(tǒng)
• 用于生物制藥的生物反應(yīng)器
• 石化和化工氣體和液體試驗工廠
• 吹掃氣體、過程分析和分析用流量測定