真空是質(zhì)譜儀器正常工作的基礎(chǔ)，真空系統(tǒng)的維護(hù)是儀器日常維護(hù)的重要任務(wù)，但常常被忽略。一旦發(fā)生故障，輕者儀器達(dá)不到狀態(tài)，尤其是靈敏度下降，重者儀器無法正常運行，所以定期維護(hù)是真空系統(tǒng)正常運行的重要保障。

前級真空系統(tǒng)常見故障有:電源未接通，吸附阱飽和，油太多或太少，漏油，前級管線太窄或堵塞，排氣不暢，前級真空規(guī)工作不正常。如果前級泵工作正常、*而抽氣效率低，前級壓力太高，則可能柱流量太大或漏氣。前級真空的維護(hù)包括定期觀察油面，定期更換泵油，定期更換泵吸附阱等。

高真空常見故障主要是真空室壓力高，達(dá)不到正常工作真空條件。原因多數(shù)是漏氣、系統(tǒng)污染，脫氣或載氣流量太大。高真空擴(kuò)散泵工作不正?？赡苁怯捎?油少了或污染了;加熱器不正常，油溫度不夠不能充分氣化或前級工作不正常。分子泵工作不正常是由于電源故障或前級工作不正常。高真空的維護(hù)同樣需定期觀察擴(kuò)散泵油面、更換泵油，分子泵需經(jīng)常檢查泵的冷卻系統(tǒng)(冷卻水或風(fēng)扇)。

此外，正確的開機(jī)、停機(jī)操作步驟，避免誤操作，也是保證良好真空的必要條件。盡量維持真空系統(tǒng)連續(xù)運行，減少頻繁停機(jī)可減少發(fā)生故障的頻率。需要較長時間停機(jī)一定要按維護(hù)規(guī)程處理。一般GC/MS儀器的操作規(guī)程雖有真空系統(tǒng)的啟動(pump) 和停機(jī)(vent) 步驟，以及真空檢漏等內(nèi)容，但沒有各種真空泵的使用維護(hù)說明，這部分說明書由真空泵廠家提供，通常應(yīng)和真空泵包裝在一起。