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光譜儀器是掃描型的儀器，當(dāng)儀器運(yùn)行時，許多部件在動作，如測角儀、晶體轉(zhuǎn)換器、準(zhǔn)直器等，經(jīng)常動作的部件容易出現(xiàn)問題，另外控制和探測各個部件動作的電子線路板也可能出現(xiàn)問題。
光譜儀器都裝有故障診斷軟件，分布于儀器各個部位的傳感器將儀器的狀態(tài)信號傳輸?shù)接嬎銠C(jī)，供儀器操作者和維修工程師判斷儀器是否正常，找到產(chǎn)生故障的部位。但是有些在測量過程中出現(xiàn)的問題靠診斷軟件是發(fā)現(xiàn)不了的，而且診斷軟件僅僅提示產(chǎn)生了故障，要找到產(chǎn)生故障的原因，要求維修人員對儀器的結(jié)構(gòu)比較熟悉，且具有一定的維修經(jīng)驗。
光譜儀器的工作原理：它是利用原子或離子在一定條件下受激而發(fā)射的特征光譜來研究物質(zhì)化學(xué)組成的分析方法。根據(jù)激發(fā)機(jī)理不同，原子發(fā)射光譜有3種類型：
?、僭拥暮送夤鈱W(xué)電子在受熱能和電能激發(fā)而發(fā)射的光譜，通常所稱的原子發(fā)射光譜法是指以電弧、電火花和電火焰為激發(fā)光源來得到原子光譜的分析方法。以化學(xué)火焰為激發(fā)光源來得到原子發(fā)射光譜的，專稱為火焰光度法。
?、谠雍送夤鈱W(xué)電子受到光能激發(fā)而發(fā)射的光譜，稱為原子熒光。
?、墼邮艿絏射線光子或其他微觀粒子激發(fā)使內(nèi)層電子電離而出現(xiàn)空穴，較外層的電子躍遷到空穴，同時產(chǎn)生次級X射線即X射線熒光。
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