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HMDS真空涂膠烘箱的認(rèn)識及預(yù)處理系統(tǒng)操作流程

來源:北京中科博達儀器科技有限公司   2020年06月11日 14:57  

                       HMDS真空涂膠烘箱的認(rèn)識及預(yù)處理系統(tǒng)操作流程

隨著時間的推移,客戶定制化需求也越來越強烈,市場對HMDS真空涂膠烘箱的應(yīng)用需求也比較廣泛了,而這款真空烘箱也主要用于半導(dǎo)體行業(yè),HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。 

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)操作流程:
 1、首先確定烘箱工作溫度;
 2、預(yù)處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內(nèi)真牢度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分;
 3、再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設(shè)定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng);
 4、當(dāng)達到設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。  

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