τ:10~6000μs,ρ>3Ω·cm ,配數(shù)字示波器;用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測量,除需要有一個測量平面外,對樣塊體形嚴(yán)格要求,可測塊狀和片狀單晶壽命。壽命測量可靈敏地反映單晶體內(nèi)重金屬雜質(zhì)污染及缺陷存在的情況,是單晶質(zhì)的重要檢測項目。
設(shè)備組成
1.光脈沖發(fā)生裝置:
重復(fù)頻率>25次/s
脈 寬>60μs
光脈沖關(guān)斷時間<1μs
紅外光源波長:1.06~1.09μm(測量硅單晶)
脈沖電流:5A~20A
如測量鍺單晶壽命需配置適當(dāng)波長的光源
2.高頻源:
頻 率:30MHz低輸出阻抗
輸出功率>1W
放大器和檢波器:
頻率響應(yīng):2Hz~2MHz
3.配用示波器:
配用示波器:頻帶寬度不低于10MHz,Y軸增益及掃描速度均應(yīng)連續(xù)可調(diào)。
測量范圍:
可測硅單晶的電阻率范圍:ρ≥0.1Ω·㎝(歐姆·厘米)
壽命值的測量范圍:5~6000μs(微秒)
相關(guān)產(chǎn)品
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