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波長色散x射線光譜儀一般由光源(X-射線管)、樣品室和檢測系統(tǒng)等組成,與波長色散型熒光光儀的區(qū)別在于它不用分光晶體。由于這一特點，使能量色散型熒光光儀具有如下的優(yōu)點:
波長色散x射線光譜儀四大優(yōu)勢特點
1、儀器結(jié)構(gòu)簡單，省略了晶體的精密運動裝置,也無需精確調(diào)整。還避免了晶體衍射所造成的強度損失。光源使用的X射線管功率低,一般在100W以下，不需要昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)，空氣冷卻即可，節(jié)省電力。
2、能量色散形熒光光儀的光源、樣品、檢測器彼此靠得很近,X射線的利用率很高,不需光學(xué)聚集，在累積整個光譜時，對樣品位置變化不象波長色散型熒光光儀那樣敏感，對樣品形狀也無特殊要求。
3、在能量色散譜儀中，樣品發(fā)出的全部特征X射線光子同時進入檢測器，這就奠定了使用多道分析器和熒光屏同時累積和顯示全部能譜(包括背景)的基礎(chǔ),也能清楚地表明背景和干擾線。因此,半導(dǎo)體檢測器X射線光譜儀能比晶體X射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作。
4、能量色散法的一個附帶優(yōu)點是測量整個分析線脈沖高度分布的積分程度,而不是峰頂強度。因此，減小了化學(xué)狀態(tài)引起的分析線波長的漂移影響。由于同時累積還減小了儀器的漂移影響,提高凈計數(shù)的統(tǒng)計精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時累積觀察和測量所有元素，而不是按特定譜線分析特定元素。因此，減小了偶然錯誤判斷某元素的可能性。
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